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龍圖騰網獲悉無錫卓海科技股份有限公司申請的專利一種基于晶圓檢測系統的檢測方法、裝置、設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119642743B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411878098.0，技術領域涉及：G01B11/26；該發明授權一種基于晶圓檢測系統的檢測方法、裝置、設備及存儲介質是由阿民;相宇陽;俞勝武設計研發完成，并于2024-12-19向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于晶圓檢測系統的檢測方法、裝置、設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于晶圓檢測系統的檢測方法、裝置、設備及存儲介質。晶圓檢測系統包括：激光光源、晶圓運動模塊和位置探測模塊；激光光源用于發出探測激光；晶圓運動模塊用于反射探測激光生成反射激光；位置探測模塊用于接收反射激光；檢測方法包括：獲取探測激光與晶圓運動模塊的第一夾角和反射激光與位置探測模塊的第二夾角；獲取晶圓運動模塊運動時反射激光在位置探測模塊上的移動距離；根據第一夾角、第二夾角以及移動距離計算晶圓運動模塊的運動狀態參數；運動狀態參數包括傾斜角度和振幅。采用上述技術方案，簡單高效的計算出晶圓運動模塊的運動狀態參數，以便工作人員對晶圓運動模塊進行校準，進而提升晶圓檢測精度。

本發明授權一種基于晶圓檢測系統的檢測方法、裝置、設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種基于晶圓檢測系統的檢測方法，其特征在于，所述晶圓檢測系統包括：激光光源、晶圓運動模塊和位置探測模塊； 所述激光光源用于發出探測激光；所述晶圓運動模塊用于反射所述探測激光生成反射激光；所述位置探測模塊用于接收所述反射激光； 所述檢測方法包括： 獲取所述探測激光與所述晶圓運動模塊的第一夾角和所述反射激光與所述位置探測模塊的第二夾角； 獲取所述晶圓運動模塊運動時所述反射激光在所述位置探測模塊上的移動距離； 根據所述第一夾角、所述第二夾角以及所述移動距離計算所述晶圓運動模塊的運動狀態參數；所述運動狀態參數包括傾斜角度； 獲取所述晶圓運動模塊運動時所述反射激光在所述位置探測模塊上的移動距離，包括： 獲取所述晶圓運動模塊以預設間隔多次水平運動時，所述反射激光在所述位置探測模塊上移動的第一距離集合；其中，所述水平運動包括所述晶圓運動模塊靠近或者遠離所述位置探測模塊運動；所述第一距離集合包括多個第一距離元素值； 根據所述第一夾角、所述第二夾角以及所述移動距離計算所述晶圓運動模塊的運動狀態參數，包括： 根據所述第一夾角、所述第二夾角以及所述第一距離集合計算所述晶圓運動模塊的所述傾斜角度； 根據所述第一夾角、所述第二夾角以及所述第一距離集合計算所述晶圓運動模塊的傾斜角度，包括： 根據所述第一夾角、所述第二夾角以及所述第一距離集合確定第一高度差集合；所述第一高度差集合包括多個第一高度差元素值，所述第一高度差元素值與所述第一距離元素值對應；所述第一高度差元素值是指所述探測激光在所述晶圓運動模塊當前狀態時的入射位置與初始狀態時的入射位置在第一方向上的高度差值； 獲取水平運動距離集合；所述水平運動距離集合包括多個水平運動距離元素值；所述水平運動距離元素值是指任一運動狀態下所述晶圓運動模塊與預設平面之間的交點位置以及所述探測激光在所述晶圓運動模塊上的入射位置在第二方向上的第一距離差值；所述第二方向與所述第一方向相交； 根據所述第一高度差集合和所述水平運動距離集合確定所述傾斜角度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫卓海科技股份有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區珠江路97號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。