蘇州華太電子技術股份有限公司蘭金龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州華太電子技術股份有限公司申請的專利超結IGBT及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119342854B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411864647.9,技術領域涉及:H10D12/00;該發明授權超結IGBT及其制造方法是由蘭金龍;祁金偉設計研發完成,并于2024-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本超結IGBT及其制造方法在說明書摘要公布了:本申請實施例提供一種超結IGBT及其制造方法,其中,超結IGBT包括:漂移區;所述漂移區內形成有柱區,柱區的導電類型與漂移區的導電類型相反;柱區沿漂移區的厚度方向延伸,多個柱區在漂移區內并排且間隔設置;外延層,形成在漂移區的上表面;超結IGBT的中心部分作為元胞區,外圍部分作為終端區;所述外延層位于元胞區的部分形成有柵極結構;外延層位于終端區的部分設有終端環區,終端環區圍繞元胞區呈環狀;終端環區的導電類型與外延層的導電類型相反。本申請實施例提供的超結IGBT提高了終端區的承壓能力。
本發明授權超結IGBT及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種超結IGBT,其特征在于,包括: 漂移區;所述漂移區內形成有柱區,柱區的導電類型與漂移區的導電類型相反;柱區沿漂移區的厚度方向延伸,多個柱區在漂移區內并排且間隔設置; 外延層,形成在漂移區的上表面;超結IGBT的中心部分作為元胞區,外圍部分作為終端區;所述外延層位于元胞區的部分形成有柵極結構;外延層位于終端區的部分設有終端環區,終端環區圍繞元胞區呈圓角矩形的環狀;終端環區的導電類型與外延層的導電類型相反; 承壓區,形成在漂移區的下表面;承壓區的導電類型與漂移區的導電類型相同,承壓區的摻雜濃度小于漂移區的摻雜濃度;承壓區的厚度大于15μm,承壓區的摻雜濃度小于3E14。
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