廈門大學時康獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廈門大學申請的專利一種導電多孔硬質材料無線電化學機械拋光的方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116728167B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310426153.1,技術領域涉及:B24B1/00;該發明授權一種導電多孔硬質材料無線電化學機械拋光的方法及裝置是由時康;王寶源;喬立青設計研發完成,并于2023-04-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種導電多孔硬質材料無線電化學機械拋光的方法及裝置在說明書摘要公布了:本發明提供了導電多孔硬質材料無線電化學機械拋光方法:將帶有通孔的拋光墊粘貼在直徑相同的拋光盤底部;將一對正負電極設置在每個通孔的底壁,兩根電極并入拋光盤頂部的匯流線,經導電滑環與電源正負極相連;將導多孔硬質材料固定在拋光頭;加工時,在拋光盤底部形成了由拋光液層、正負電極、導電多孔硬質材料表面構成的電解池,拋光墊隔開導電多孔硬質材料與電極;施加電壓后,導電多孔硬質材料表面兩端在正負兩極的電場中同時發生氧化、還原反應實現拋光。本發明提供的方法能夠在常溫常壓下高效地加工以碳化鎢為代表的硬質導電多孔硬質材料,拓展了加工硬質導電多孔硬質材料的新方法,以及電化學機械拋光的應用范圍,具有廣泛的應用前景。
本發明授權一種導電多孔硬質材料無線電化學機械拋光的方法及裝置在權利要求書中公布了:1.一種導電多孔硬質材料無線電化學機械拋光的方法,其特征在于,具體步驟如下: 將導電多孔硬質材料工件固定在拋光頭; 將拋光墊和拋光盤加工出具有蜂窩狀陣列排布的通孔結構; 將尺寸相同的拋光墊和拋光盤以通孔重合的方式粘貼; 將一對正負電極設置在所述通孔的底壁,將所述正負電極并入所述拋光盤頂部的匯流線,然后經導電滑環與電源正負極相連; 拋光過程中,所述正負電極與所述導電多孔硬質材料工件表面之間被所述拋光墊隔開,拋光液穿過所述通孔滴在所述導電多孔硬質材料工件表面形成拋光液層,所述正負電極與所述拋光液層構成電解池; 拋光過程中,所述導電多孔硬質材料工件與所述拋光墊或所述拋光盤同向旋轉,施加電壓后所述導電多孔硬質材料工件表面的不同位置在所述電解池中同時發生電化學氧化和電化學金屬電沉積反應,電化學過程與機械摩擦去除過程均勻交替進行。
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