廈門市三安集成電路有限公司王晶晶獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廈門市三安集成電路有限公司申請的專利HEMT射頻器件的制作方法及HEMT射頻器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116313797B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310296750.7,技術領域涉及:H10D30/01;該發明授權HEMT射頻器件的制作方法及HEMT射頻器件是由王晶晶;鐘杰斌設計研發完成,并于2023-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本HEMT射頻器件的制作方法及HEMT射頻器件在說明書摘要公布了:本發明公開了一種HEMT射頻器件的制作方法,是在襯底上形成NiFe2O4材料層,然后對NiFe2O4材料層進行退火處理使NiFe2O4材料層形成若干磁致伸縮單元,所述磁致伸縮單元具有向上凸起的弧面,在其上生長包括氮化物異質結的HEMT外延材料層,然后制作源極、漏極和柵極。將具有弧面凸起的磁致伸縮單元應用于HEMT材料結構改進,磁致伸縮凸起單元在磁場作用下發生形變,對HEMT外延材料層施加應力,阻礙了溝道層勢壘層的晶格變形,保持氮化物異質結的動態電阻不變,有效抑制了電流崩塌效應,提升了器件的性能和穩定性。
本發明授權HEMT射頻器件的制作方法及HEMT射頻器件在權利要求書中公布了:1.一種HEMT射頻器件的制作方法,其特征在于,包括: 步驟1)于襯底上形成NiFe2O4材料層; 步驟2)于100~800℃的溫度下對NiFe2O4材料層進行退火處理,退火時間為15s~30min,退火后所述NiFe2O4材料層形成若干磁致伸縮單元,所述磁致伸縮單元具有向上凸起的弧面; 步驟3)于具有所述磁致伸縮單元的襯底上生長HEMT外延材料層,所述HEMT外延材料層包括氮化物異質結; 步驟4)于HEMT外延材料層上制作源極、漏極和柵極。
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