浙江合特光電有限公司陶利松獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江合特光電有限公司申請的專利一種管式CVD設備的進抽氣系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116005130B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211570787.6，技術領域涉及：C23C16/44；該發明授權一種管式CVD設備的進抽氣系統是由陶利松;任建強設計研發完成，并于2022-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種管式CVD設備的進抽氣系統在說明書摘要公布了：本申請涉及光伏電池制造設備的領域，尤其是涉及一種管式CVD設備的進抽氣系統，包括連通于管式爐且用于送入反應氣體的進氣管和用于抽出反應產物的抽氣管，進氣管位于管式爐中一端連通有分布管，分布管開口長度方向和石墨舟長度方向相一致，分布管沿自身寬度方向設置數個，分布管的出氣口朝向于石墨舟上部，抽氣管進氣口位于分布管出氣口的上方，使得各個分布管能夠朝向石墨舟各處較為均勻的進行送氣，提升石墨舟上各處的硅片和反應氣體之間充分接觸以進行均勻的非晶硅薄膜沉積。
本發明授權一種管式CVD設備的進抽氣系統在權利要求書中公布了：1.一種管式CVD設備的進抽氣系統，包括連通于管式爐且用于送入反應氣體的進氣管1和用于抽出反應產物的抽氣管2，其特征在于：所述進氣管1位于管式爐中一端連通有分布管3，分布管3開口長度方向和石墨舟長度方向相一致，分布管3沿自身寬度方向設置數個，分布管3的出氣口朝向于石墨舟上部，抽氣管2進氣口位于分布管3出氣口的上方，所述分布管3出氣口設有一組數個的分布葉42，同組中靠近于分布管3寬度方向兩端的分布葉42均呈傾斜，同組中位于分布管3中心點兩側的分布葉42靠近于孔板4的側邊均靠近于同組中間位置處的分布葉42，所述抽氣管2連通有位于分布管3上方的上部管43，上部管43長度方向和分布管3長度方向相一致，上部管43進氣口背離分布管3，所述上部管43內部成型有沉積槽32，沉積槽32周邊側面開設有數個連通于抽氣管2的內槽口33，內槽口33連通于沉積槽32的部分呈傾斜，內槽口33傾斜段越靠近沉積槽32的位置高度越低，內槽口33傾斜段內壁設有斜段板34，斜段板34垂直于內槽口33傾斜段的傾斜方向，斜段板34和內槽口33傾斜段上表面之間存在間距。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江合特光電有限公司，其通訊地址為：310000 浙江省杭州市蕭山區經濟技術開發區紅墾農場蕭清大道2826號1幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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