無錫萊斯能特科技有限公司王輝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫萊斯能特科技有限公司申請的專利一種傳感器設計結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115790557B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211331126.8,技術領域涉及:G01C19/56;該發明授權一種傳感器設計結構是由王輝設計研發完成,并于2022-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種傳感器設計結構在說明書摘要公布了:本申請公開了一種傳感器設計結構,特別適用于三軸MEMS陀螺儀結構設計,屬于MEMS傳感器領域。該結構設計有旋轉框架,用于運動傳遞;設計有XY軸檢測共享質量塊,結構方面節省了驅動結構的面積,有效縮小了芯片整體尺寸;錨定框架上的錨點依據芯片在晶圓不同位置上的不同應力表現,可進行相應調整,以抵消或部分抵消MEMS制造工藝或封裝應力影響,提升芯片性能;由于使用了如前所述的整體結構布局,因此本發明中的三軸MEMS陀螺儀結構緊湊、整體面積小、生產成本較低。
本發明授權一種傳感器設計結構在權利要求書中公布了:1.一種傳感器設計結構,其特征在于,適用于三軸MEMS陀螺儀的結構設計,該結構包括:基底,位于基底上的錨定框架(10),所述錨定框架(10)內的XY軸檢測質量組(20)、Z軸檢測質量組(30)、第一檢測裝置組(40)、第二檢測裝置組(50)、旋轉框架(60)、驅動框架(70)、驅動彈簧(80)、Z軸檢測彈簧(90)和驅動傳遞梁(100); 以所述錨定框架(10)為布局面,所述Z軸檢測質量組(30)、所述第二檢測裝置組(50)、所述驅動框架(70)、所述驅動彈簧(80)和所述Z軸檢測彈簧(90)對稱設置于所述錨定框架(10)兩側,所述旋轉框架(60)位于所述驅動框架(70)之間,且容置有所述XY軸檢測質量組(20)和所述第一檢測裝置組(40); 所述Z軸檢測質量組(30)設置于所述驅動框架(70)內,且通過所述Z軸檢測彈簧(90)與所述驅動框架(70)互連; 所述驅動框架(70)的短邊兩側通過所述驅動彈簧(80)與所述錨定框架(10)連接;所述驅動框架(70)的長邊一側通過所述驅動傳遞梁(100)連接所述XY軸檢測質量組(20)所在的旋轉框架(60); XY軸檢測質量組(20)用于被驅動后繞結構中心在X方向和Y方向組成的平面內旋轉;Z軸檢測質量組(30)用于在驅動裝置驅動后沿Y方向移動; 所述XY軸檢測質量組(20)由XY軸檢測質量塊(21)構成,所述第一檢測裝置組(40)包括X軸檢測極板(41)和Y軸檢測極板(42); 所述X軸檢測極板(41)在Y方向對稱設置于所述XY軸檢測質量塊(21)左右側,所述Y軸檢測極板(42)在X方向對稱設置于所述XY軸檢測質量塊(21)上下側;所述X軸檢測極板(41)和所述Y軸檢測極板(42)與所述XY軸檢測質量塊(21)位于不同平面,且中間存在微小間隙用于形成檢測電容組; 所述XY軸檢測質量塊(21)通過連接梁(22)與所述旋轉框架(60)連接,以所述連接梁(22)為軸心,所述XY軸檢測質量塊(21)進行X或Y平面內的旋轉; 第一檢測裝置組(40)用于檢測繞X方向和繞Y方向的角速度;第二檢測裝置組(50)用于檢測繞Z方向的角速度; 旋轉框架(60)用于框架內部置入所述XY軸檢測質量組(20),所述驅動裝置設置在所述旋轉框架(60)外部; 所述驅動彈簧(80)用于帶動所述驅動框架(70)向Y方向運動;所述驅動框架(70)用于驅動后通過所述旋轉框架(60)帶動所述XY軸檢測質量組(20)運動; 其中,X方向垂直于Y方向,Z方向垂直于X方向及Y方向。
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