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龍圖騰網(wǎng)獲悉紹興中芯集成電路制造股份有限公司申請(qǐng)的專利光罩、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115196588B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210860060.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81C1/00；該發(fā)明授權(quán)光罩、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制備方法是由魯列微;徐澤洋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-07-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本光罩、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及一種光罩、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制備方法。光罩包括：光罩主體；背孔圖形，位于所述光罩主體內(nèi)；多個(gè)支撐軸圖形，位于所述背孔圖形內(nèi)；各所述支撐軸圖形的一端均相連接，各所述支撐軸圖形的另一端分別與所述背孔圖形的邊緣相連接；所述支撐軸圖形包括主體部和端部，所述端部位于所述主體部?jī)啥耍c所述主體部一體連接，所述端部的寬度小于所述主體部的寬度。本發(fā)明能夠避免MEMS器件在形成空腔的過(guò)程中的犧牲層釋放不完全。

本發(fā)明授權(quán)光罩、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種光罩，其特征在于，所述光罩包括： 光罩主體； 背孔圖形，位于所述光罩主體內(nèi)； 多個(gè)支撐軸圖形，位于所述背孔圖形內(nèi)；各所述支撐軸圖形的一端均相連接，各所述支撐軸圖形的另一端分別與所述背孔圖形的邊緣相連接；各所述支撐軸圖形均呈紡錘形，所述支撐軸圖形包括主體部和端部，所述端部位于所述主體部?jī)啥?，與所述主體部一體連接，所述端部的寬度小于所述主體部的寬度。

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