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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種MWT電池刻蝕方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115116841B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210739453.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/306；該發(fā)明授權(quán)一種MWT電池刻蝕方法是由張樹德;劉玉申;錢洪強(qiáng);況亞偉;周海龍;任慧雪;荊蓉蓉;張俊巍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-06-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種MWT電池刻蝕方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種MWT電池刻蝕方法，屬于電池制備技術(shù)領(lǐng)域。是將磷擴(kuò)散后的硅片進(jìn)行刻蝕工序，其中，硅片的正面由于磷擴(kuò)散步驟形成有磷硅玻璃。本申請(qǐng)?jiān)诳涛g工序通過噴膜裝置噴出硝酸溶液，使硅片的正面被硝酸溶液覆蓋形成硝酸溶液膜；硅片放置在滾輪上移動(dòng)，硅片的背面和側(cè)面與刻蝕溶液反應(yīng)，去除所述硅片背面和側(cè)面的PN結(jié)。噴膜裝置使得硅片表面形成有硝酸溶液膜，硅片表面由于形成有磷硅玻璃，則硝酸溶液不會(huì)對(duì)硅片表面進(jìn)行腐蝕。硝酸溶液通過硅片上的穿孔穿過時(shí)，且由于滴漏的是硝酸溶液，不會(huì)稀釋刻蝕溶液，即不會(huì)影響刻蝕效果，進(jìn)而解決刻蝕拖尾現(xiàn)象。而本申請(qǐng)的方法僅將常規(guī)技術(shù)中的水膜變成硝酸溶液膜，無需增加步驟和新的設(shè)備，成本低。

本發(fā)明授權(quán)一種MWT電池刻蝕方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種MWT電池刻蝕方法，其特征在于，將磷擴(kuò)散后的硅片進(jìn)行刻蝕工序，其中，所述硅片的正面設(shè)置有磷硅玻璃，所述刻蝕工序中將硅片放置在滾輪上使所述硅片與滾輪相對(duì)移動(dòng)，在所述硅片上方設(shè)置有噴膜裝置，所述噴膜裝置噴出硝酸溶液，使所述硅片的正面被硝酸溶液覆蓋形成硝酸溶液膜；所述硅片的背面和側(cè)面與刻蝕溶液反應(yīng)，去除所述硅片背面和側(cè)面的PN結(jié)； 所述刻蝕溶液為硝酸和氫氟酸的混合溶液A，所述硝酸為68%硝酸； 所述噴膜裝置噴出的硝酸溶液為68%硝酸。

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