蘇州感測通信息科技有限公司蘇巖獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州感測通信息科技有限公司申請的專利一種葉片式Z軸MEMS加速度計獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114966111B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210378577.0，技術領域涉及：G01P15/125；該發明授權一種葉片式Z軸MEMS加速度計是由蘇巖設計研發完成，并于2022-04-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種葉片式Z軸MEMS加速度計在說明書摘要公布了：本發明揭示了一種葉片式Z軸MEMS加速度計，由硅襯底和硅帽相接構成空腔，硅襯底和硅帽上各設有檢測電極。特別地，該空腔中設有錨點、支撐框架及兩組以上具有不對稱質量的葉片式質量塊，每組質量塊通過位于中間的彈性梁連接并圍繞錨點等距分布在支撐框架上，且繞錨點旋轉對稱；在沿錨點軸向所在Z軸輸入加速度下，該質量塊繞彈性梁所在、支撐框架的支臂發生XY平面外旋轉運動，檢測電極與質量塊構成檢測加速度的兩組以上差分電容。應用本發明該MEMS加速度計，通過將質量塊設計成相對錨點旋轉對稱的葉片式結構，將封裝應力誤差得以最大化地差分抵銷，可以大幅提高Z軸MEMS加速度計的溫度特性，具有更高的抗誤差干擾能力及其它MEMS相關器件的普適性。
本發明授權一種葉片式Z軸MEMS加速度計在權利要求書中公布了：1.一種葉片式Z軸MEMS加速度計，由硅襯底和硅帽相接構成空腔，硅襯底和硅帽上各設有檢測電極，其特征在于：空腔中設有錨點、支撐框架及兩組以上具有不對稱質量的葉片式質量塊，每組質量塊通過位于中間的彈性梁連接并圍繞錨點等距分布在支撐框架上，且繞錨點旋轉對稱，所述質量塊設為與應力在硅襯底上產生的應變形狀共形且對應分布；在沿錨點軸向所在Z軸輸入加速度下，所述質量塊繞彈性梁所在、支撐框架的支臂發生XY平面外旋轉運動，檢測電極與質量塊構成檢測加速度的兩組以上差分電容。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州感測通信息科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城西北區13幢102室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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