朗姆研究公司納撒尼爾·杰克遜·斯祖莫斯基獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利用于襯底處理系統的具有介電窗的蜂窩式噴射器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112514044B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980050687.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于襯底處理系統的具有介電窗的蜂窩式噴射器是由納撒尼爾·杰克遜·斯祖莫斯基;安巴理什·查哈特設計研發完成，并于2019-07-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于襯底處理系統的具有介電窗的蜂窩式噴射器在說明書摘要公布了：一種用于襯底處理室的組件包含：構造成布置在該襯底處理室的上表面中的石英介電窗；石英介電窗中的凹部，該凹部包括延伸穿過該石英介電窗的第一開口；以及包含氣體噴射器的氣體噴射器組件。該氣體噴射器組件布置在該凹部內，使得該氣體噴射器延伸穿過該第一開口。該氣體噴射器由固態氧化釔組成和或包含具有氧化釔涂層的外表面。
本發明授權用于襯底處理系統的具有介電窗的蜂窩式噴射器在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理室的組件，所述組件包括： 介電窗，其構造成布置在所述襯底處理室的上表面中； 在所述介電窗中的中心凹部，其中所述中心凹部包含延伸穿過所述介電窗的第一開口和位于所述第一開口上方的第二開口，所述第二開口包括被配置為接收螺母組件的卡口式開口；以及 氣體噴射器，其中，所述氣體噴射器布置在所述中心凹部內，使得所述氣體噴射器通過所述螺母組件固定到所述介電窗并且所述氣體噴射器延伸穿過所述第一開口和所述第二開口， 其中，所述氣體噴射器i由固態氧化釔組成，或者ii包含具有氧化釔涂層的外表面， 其中所述氣體噴射器包含布置在所述第二開口內的凸緣，并且其中所述凸緣的高度基本上等于所述第二開口的深度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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