洛陽理工學院于仕輝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉洛陽理工學院申請的專利一種高透導電玻璃及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120349104B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510850590.5,技術領域涉及:C03C17/36;該發明授權一種高透導電玻璃及其制備方法是由于仕輝;朱洋浩;楊盼;趙樂;李千慧設計研發完成,并于2025-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高透導電玻璃及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明涉及功能玻璃技術領域,具體是一種高透導電玻璃及其制備方法。先在玻璃基底上采用光刻工藝制備連續網格光刻圖形,位于網線內的玻璃基底處于裸露狀態,網格內填充光刻膠;在光刻圖形上依次濺射鉻薄膜、銀薄膜、鋁薄膜,之后放入去膠液中超聲清洗,則光刻膠脫落,網格內的玻璃基底處于裸露狀態,網線中填充鉻銀鋁薄膜,然后依次濺射第一Nb2O5薄膜、第一SiO2薄膜、第二Nb2O5薄膜、第二SiO2薄膜,并將上述薄膜記為多層氧化物薄膜,再放入氫氧化鈉溶液中超聲清洗,鋁薄膜與氫氧化鈉溶液反應并溶解,留下位于網格內的多層氧化物薄膜及位于網線中的鉻銀薄膜,且多層氧化物薄膜的厚度與鉻銀薄膜的厚度一致,最后濺射第三SiO2薄膜,即得到高透導電玻璃。
本發明授權一種高透導電玻璃及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種高透導電玻璃的制備方法,其特征在于,具體包括以下步驟: (1)將玻璃基底清洗干凈后,在其表面棒涂一層光刻膠,采用光刻工藝獲得連續網格光刻圖形,位于網線內的玻璃基底處于裸露狀態,網格內填充光刻膠; (2)將步驟(1)所得樣品放入磁控濺射腔體中,本底真空抽至5×10-4Pa以下,通入高純氬氣,濺射靶材為高純金屬鉻靶材,在室溫下在光刻圖形上濺射鉻薄膜; (3)該步驟與步驟(2)中濺射條件相同,區別在于采用高純金屬銀為濺射靶材,在鉻薄膜表面濺射銀薄膜; (4)該步驟與步驟(2)中濺射條件相同,區別在于采用高純金屬鋁為濺射靶材,在銀薄膜表面濺射鋁薄膜; (5)將步驟(4)所得樣品放入去膠液中,超聲清洗,則光刻膠脫落,連續網格光刻圖形中,網格內的玻璃基底處于裸露狀態,網線中填充鉻銀鋁薄膜; (6)利用磁控濺射在步驟(5)所得樣品具有連續網格光刻圖形的一側依次濺射第一Nb2O5薄膜、第一SiO2薄膜、第二Nb2O5薄膜、第二SiO2薄膜,將第一Nb2O5薄膜、第一SiO2薄膜、第二Nb2O5薄膜及第二SiO2薄膜記為多層氧化物薄膜; (7)將步驟(6)所得樣品放入氫氧化鈉溶液中,超聲清洗,則鋁薄膜脫落,連續網格光刻圖形中留下位于網格內的多層氧化物薄膜及位于網線中的鉻銀薄膜,且多層氧化物薄膜的厚度與鉻銀薄膜的厚度一致; (8)將步驟(7)所得樣品放入磁控濺射腔體中,采用與步驟(6)相同的濺射條件,在樣品具有多層氧化物薄膜及鉻銀薄膜的一側濺射第三SiO2薄膜,即得到高透導電玻璃。
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