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龍圖騰網獲悉華海清科(北京)科技有限公司申請的專利化學機械拋光設備及晶圓傳輸方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120170631B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510647339.9，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權化學機械拋光設備及晶圓傳輸方法是由路新春;王同慶;夏佳琪;李長坤;王科設計研發完成，并于2025-05-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本化學機械拋光設備及晶圓傳輸方法在說明書摘要公布了：本申請半導體晶圓加工技術領域，提供一種化學機械拋光設備及晶圓傳輸方法，化學機械拋光設備包括：拋光機構，包括承載頭；裝卸機構，包括驅動組件、支架和裝卸組件；支架包括呈L形的豎直架和水平架以及固定到豎直架的滑塊，裝卸組件設置在水平架上；驅動組件與滑塊滑動連接以驅動滑塊上下移動，以使裝卸組件在低工位和高工位之間移動；傳輸機構，包括傳輸基座和機械手，機械手包括機械臂和用于夾持晶圓的夾爪；夾爪配置成在裝卸組件處于低工位時以高于裝卸組件的高度水平移動到裝卸組件上方并與其對準;裝卸組件在夾爪移動到位后朝向夾爪移動以與夾爪交互晶圓，并在夾爪從其上方避讓開后向上移動至高工位以與承載頭交互晶圓。

本發明授權化學機械拋光設備及晶圓傳輸方法在權利要求書中公布了：1.一種化學機械拋光設備，其特征在于，包括： 拋光平臺，其將所述化學機械拋光設備分隔成上方的拋光腔室和下方的傳輸腔室，并設有貫通所述拋光腔室和所述傳輸腔室的交互口； 拋光機構，位于所述拋光腔室中，包括承載晶圓至拋光盤進行拋光的承載頭； 裝卸機構，包括裝卸組件和位于所述傳輸腔室中的驅動組件和支架；所述驅動組件設在所述裝卸組件側方；所述支架包括呈L形的豎直架和水平架以及固定到所述豎直架的滑塊，所述裝卸組件設在所述水平架上；所述驅動組件與所述滑塊滑動連接以驅動所述滑塊上下移動，以使所述裝卸組件穿過所述交互口在所述傳輸腔室中的低工位和所述拋光腔室中的高工位之間移動，以在所述承載頭和機械手之間直接上下傳遞晶圓； 傳輸機構，位于所述傳輸腔室中，包括設在所述水平架下方的傳輸基座和連接到所述傳輸基座的機械手，所述機械手包括機械臂和用于夾持晶圓的夾爪；所述夾爪配置成在所述裝卸組件處于所述低工位時以高于所述裝卸組件的高度水平移動到所述裝卸組件上方并與其對準;所述裝卸組件在所述夾爪移動到位后朝向所述夾爪移動以與所述夾爪交互晶圓，并在所述夾爪從其上方避讓開后向上移動至所述高工位以與所述承載頭交互晶圓； 接水盤，其與所述支架固定連接并位于所述水平架下方，所述接水盤到所述拋光平臺的投影覆蓋所述交互口，所述接水盤的外邊緣具有豎直向上的翻邊；在所述裝卸組件移動至所述高工位時，所述接水盤允許機械手從其下方經過。

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