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龍圖騰網(wǎng)獲悉華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓后處理裝置、背面擦洗設備、方法和處理設備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120170636B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510647400.X，技術(shù)領域涉及：B24B37/34；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓后處理裝置、背面擦洗設備、方法和處理設備是由王科;曹自立;李長坤;劉洪旺設計研發(fā)完成，并于2025-05-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓后處理裝置、背面擦洗設備、方法和處理設備在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓后處理裝置、背面擦洗設備、方法和處理設備，晶圓后處理裝置包括：擦洗組件、支撐組件和夾持組件；擦洗組件包括擦洗臂、擦洗頭和擦洗墊，擦洗墊安裝在擦洗頭上；支撐組件包括支撐臂和支撐頭，支撐頭的表面上分布有多個支撐流體噴孔；處理晶圓時，夾持組件夾持并帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，晶圓位于擦洗墊和支撐頭之間，支撐頭的表面與晶圓正面具有間隙，擦洗墊以擦洗壓力貼合晶圓背面并旋轉(zhuǎn)，擦洗頭和支撐頭往復擺動，并在擺動過程中始終保持對位，擦洗流體通道向晶圓背面供應擦洗流體，支撐流體噴孔持續(xù)向晶圓正面噴出支撐流體，以使得支撐頭表面不與晶圓正面接觸；從而不損傷晶圓正面的同時，去除晶圓背面的污染物。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓后處理裝置、背面擦洗設備、方法和處理設備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓后處理裝置，其特征在于，包括：擦洗組件、支撐組件和夾持組件； 擦洗組件包括擦洗臂、擦洗頭、擦洗墊、旋轉(zhuǎn)升降元件和擦洗流體通道，擦洗墊安裝在擦洗頭上； 支撐組件包括支撐臂和支撐頭，支撐頭的表面具有多個支撐流體噴孔； 處理晶圓時， 夾持組件夾持并帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，晶圓位于擦洗墊和支撐頭之間，支撐頭的表面與晶圓正面具有間隙， 擦洗墊以擦洗壓力貼合晶圓背面，并在擦洗頭帶動下旋轉(zhuǎn)，擦洗流體通道向晶圓背面供應擦洗流體，擦洗頭和支撐頭在晶圓中心和晶圓邊緣之間往復擺動，并在擺動過程中始終保持對位，支撐流體噴孔持續(xù)向晶圓正面噴出支撐流體，以支撐晶圓并使得支撐頭的表面不與晶圓正面接觸， 旋轉(zhuǎn)升降元件通過升降擦洗頭調(diào)節(jié)擦洗壓力，以使得擦洗頭位于晶圓中心和晶圓邊緣時，晶圓發(fā)生不同形變，以有利于污染物排出； 從而不損傷晶圓正面的同時，去除晶圓背面的深層殘留污染物、化學鍵合殘留污染物或微觀缺陷。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)聚興道11號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。