買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉通威微電子有限公司申請的專利拋光清洗干燥一體機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120055988B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510525696.8，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權拋光清洗干燥一體機是由鄒靜設計研發完成，并于2025-04-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本拋光清洗干燥一體機在說明書摘要公布了：本發明提供了一種拋光清洗干燥一體機，涉及拋光技術領域，該拋光清洗干燥一體機包括粗拋光裝置、精拋光裝置、清洗干燥裝置和拋光驅動裝置，粗拋光裝置包括多個依次分布的粗拋盤；精拋光裝置包括多個依次分布的精拋盤，多個精拋盤對應設置在多個粗拋盤的后側；清洗干燥裝置設置在精拋光裝置的后側；拋光驅動裝置包括驅動機構和多個拋光頭，驅動機構與多個拋光頭連接；多個拋光頭能夠將多個晶片對應放置于多個粗拋盤和多個精拋盤分別進行粗拋光和精拋光，多個拋光頭還將多個晶片送入清洗干燥裝置。相較于現有技術，本發明實施例提供的拋光清洗干燥一體機，能夠實現多線拋光，拋光效率高，同時能夠實現拋光、清洗和干燥一體化，簡化了制造工序。

本發明授權拋光清洗干燥一體機在權利要求書中公布了：1.一種拋光清洗干燥一體機，其特征在于，包括： 粗拋光裝置（110），粗拋光裝置（110）包括多個依次分布的粗拋盤，粗拋盤用于對晶片實現粗拋光； 精拋光裝置（120），精拋光裝置（120）包括多個依次分布的精拋盤，多個精拋盤對應設置在多個粗拋盤的后側，精拋盤用于對晶片實現精拋光； 清洗干燥裝置（130），清洗干燥裝置（130）設置在精拋光裝置（120）的后側，清洗干燥裝置（130）用于對晶片實現清洗和干燥； 拋光驅動裝置（140），拋光驅動裝置（140）包括驅動機構（150）和多個拋光頭，驅動機構（150）與多個拋光頭連接，用于同步帶動多個拋光頭同步運動； 其中，多個拋光頭用于分別吸附多個晶片，并在驅動機構（150）的帶動下將多個晶片對應放置于多個粗拋盤進行粗拋光后再放置于多個精拋盤進行精拋光，多個拋光頭還用于在驅動機構（150）的帶動下將精拋光后的多個晶片送入清洗干燥裝置（130）； 清洗干燥裝置（130）包括清洗箱（131）、清洗平臺（132）、抬升組件（135）和提升組件（180），清洗箱（131）內裝有清洗液，并在底部一側設置有鉸接座（133），清洗平臺（132）設置在清洗箱（131）內，且清洗平臺（132）的一端可轉動地連接于鉸接座（133），另一端設置有多個晶片放置位，多個晶片放置位用于放置多個晶片，抬升組件（135）與清洗平臺（132）遠離鉸接座（133）的一端傳動連接，用于帶動清洗平臺（132）相對鉸接座（133）轉動，以抬升晶片放置位，并將清洗平臺（132）抬升至與水平方向呈30°傾角的位置，提升組件（180）至少部分設置在清洗平臺（132）上，用于帶動晶片放置位上的晶片脫離清洗液進行干燥； 提升組件（180）包括提升驅動件（181）、導向塊（182）、第一吸塊（183）、第二吸塊（184）和輔助驅動件（185），提升驅動件（181）設置在清洗平臺（132）上靠近鉸接座（133）的一端，導向塊（182）滑動設置在清洗平臺（132）上，并與提升驅動件（181）連接，導向塊（182）用于在提升驅動件（181）的帶動下沿清洗平臺（132）滑動，第一吸塊（183）與導向塊（182）連接，用于吸附晶片的一側邊緣并在導向塊（182）的帶動下將晶片沿清洗平臺（132）傾斜向上移動；清洗箱（131）遠離鉸接座（133）的一側還設置有支撐架（136），輔助驅動件（185）設置在支撐架（136）上，第二吸塊（184）連接于輔助驅動件（185），用于吸附晶片遠離鉸接座（133）的一側邊緣并在輔助驅動件（185）的帶動下將晶片沿清洗平臺（132）傾斜向上移動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人通威微電子有限公司，其通訊地址為：610299 四川省成都市雙流區成都芯谷產業園區集中區內；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。