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龍圖騰網獲悉華海清科(北京)科技有限公司申請的專利豎直擦洗裝置、晶圓加工設備、晶圓擦洗方法及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120033122B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510489709.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權豎直擦洗裝置、晶圓加工設備、晶圓擦洗方法及存儲介質是由李燈;劉洪旺;曹自立;李長坤設計研發完成，并于2025-04-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本豎直擦洗裝置、晶圓加工設備、晶圓擦洗方法及存儲介質在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體晶圓加工技術領域，提供一種豎直擦洗裝置、晶圓加工設備、晶圓擦洗方法及存儲介質。豎直擦洗裝置包括箱體和夾持組件、擦洗組件和旋轉擋圈；夾持組件豎直夾持晶圓并驅動其旋轉，清洗液在重力及晶圓旋轉作用下涂覆晶圓正面；擦洗組件擦洗晶圓的正面；旋轉擋圈的周向壁面包繞夾持組件并背離背板漸縮，夾持組件在裝卸位和擦洗位之間可軸向伸縮；夾持組件包括固定夾爪和活動夾爪，分別用于夾持晶圓的下半部分邊緣和上半部分邊緣；在夾持組件向裝卸位移動時，活動夾爪的徑向外部由旋轉擋圈止擋以使活動夾爪背離晶圓轉動而張開；在夾持組件向擦洗位收縮時，活動夾爪自動朝向晶圓轉動而收回以夾持晶圓。

本發明授權豎直擦洗裝置、晶圓加工設備、晶圓擦洗方法及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種豎直擦洗裝置，其特征在于，所述豎直擦洗裝置包括箱體、安裝到所述箱體的背板的夾持組件和擦洗組件及與所述夾持組件同軸設置的旋轉擋圈；所述夾持組件用于豎直夾持晶圓并驅動晶圓旋轉，提供至所述晶圓的正面的清洗液在重力及晶圓旋轉作用下涂覆所述晶圓的正面；所述擦洗組件配置成擦洗所述晶圓的正面；所述旋轉擋圈的周向壁面包繞所述夾持組件并背離所述背板漸縮，所述夾持組件在自所述旋轉擋圈伸出的裝卸位和收縮至所述旋轉擋圈中的擦洗位之間可軸向伸縮； 所述夾持組件包括設于其下半部分的固定夾爪和設于其上半部分的活動夾爪，分別用于夾持所述晶圓的下半部分邊緣和上半部分邊緣；所述夾持組件向裝卸位移動時，所述活動夾爪的徑向外部由所述旋轉擋圈止擋以使所述活動夾爪背離所述晶圓轉動而張開；所述夾持組件向擦洗位收縮時，所述活動夾爪自動朝向所述晶圓轉動而收回以夾持所述晶圓； 所述活動夾爪包括安裝座、夾爪本體和復位器，所述夾爪本體能夠繞所述安裝座上的轉動軸轉動并且在其背對所述安裝座的一側構造有夾持部，所述復位器配置成在所述夾爪本體的徑向外端和所述轉動軸之間抵靠在所述夾爪本體的背部，所述復位器在所述活動夾爪張開時由所述夾爪本體抵壓而收縮、以及在所述活動夾爪與所述旋轉擋圈分離時推動所述夾爪本體轉動收回。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科(北京)科技有限公司，其通訊地址為：100000 北京市大興區經濟技術開發區地盛北街1號院40號樓11層1107室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。