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龍圖騰網(wǎng)獲悉華虹半導(dǎo)體(無錫)有限公司申請的專利半導(dǎo)體器件及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114121982B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111413874.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10B41/35；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及其制備方法是由許昭昭;田甜設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-11-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體器件及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體器件的制備方法，在所述存儲區(qū)的所述第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)側(cè)以及所述控制柵上形成第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)，同時也在所述邏輯區(qū)的柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)形成第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)；然后再分別在所述存儲區(qū)的第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)以及所述邏輯區(qū)的第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)形成第四側(cè)墻結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體器件。本申請通過在所述存儲區(qū)先形成所述第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)，再形成所述第四側(cè)墻結(jié)構(gòu)，使得所述控制柵和浮柵的橫向長度對應(yīng)增加了所述第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)的橫向長度，同時存儲區(qū)器件的總的橫向長度可以保持不變，使得本申請可以在不增加存儲區(qū)器件的面積的同時，增加控制柵的長度，增加控制柵與浮柵交疊的面積，從而提高控制柵至浮柵的耦合系數(shù)，提高控制柵的控制能力。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體器件的制備方法，其特征在于，包括： 提供一襯底，所述襯底包含存儲區(qū)和邏輯區(qū)，所述襯底上形成有堆疊的柵氧化層、浮柵、ONO介質(zhì)層、控制柵和氮化硅層； 依次在所述存儲區(qū)形成第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)、第二側(cè)墻結(jié)構(gòu)、隧穿氧化層、選擇柵和選擇柵氧化層，其中，所述第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)位于所述氮化硅層中，所述第二側(cè)墻結(jié)構(gòu)位于所述控制柵和所述ONO介質(zhì)層中且覆蓋所述第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)的部分側(cè)面，所述隧穿氧化層位于所述浮柵和所述柵氧化層中且覆蓋所述第二側(cè)墻結(jié)構(gòu)和所述第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)的剩余側(cè)面； 去除所述邏輯區(qū)的所述氮化硅層、所述控制柵、所述ONO介質(zhì)層、所述浮柵和所述柵氧化層； 在所述邏輯區(qū)的襯底表面形成柵極結(jié)構(gòu)； 對所述邏輯區(qū)的所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的襯底進行離子注入以形成第一LDD區(qū)； 去除所述存儲區(qū)的第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述氮化硅層； 分別在所述存儲區(qū)的第一側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)以及所述邏輯區(qū)的柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)形成第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)； 去除所述存儲區(qū)的第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述控制柵、所述ONO介質(zhì)層、所述浮柵和所述柵氧化層； 對所述存儲區(qū)的第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)的襯底進行離子注入以形成第二LDD區(qū)；以及， 分別在所述存儲區(qū)的第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)以及所述邏輯區(qū)的第三側(cè)墻結(jié)構(gòu)兩側(cè)形成第四側(cè)墻結(jié)構(gòu)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人華虹半導(dǎo)體(無錫)有限公司，其通訊地址為：214028 江蘇省無錫市新吳區(qū)新洲路30號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。