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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京爍科精微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利一種傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115446669B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110645765.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B1/00；該發(fā)明授權(quán)一種傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法是由李嘉浪;白琨;賈若雨;吳燕林;周慶亞;張金環(huán);劉志偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-09向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法，屬于CMP設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：通過已知條件，對(duì)AB之間的距離進(jìn)行計(jì)算；在T1時(shí)刻，以A點(diǎn)此刻所處的位置為圓心，AB此刻的長度為半徑形成第一圓，第一圓與晶圓邊緣產(chǎn)生第一交點(diǎn)；重復(fù)執(zhí)行交點(diǎn)獲取步驟，直至傳感器脫離晶圓的位置時(shí)，得到若干交點(diǎn)；傳感器在掃過晶圓時(shí)，通過將若干交點(diǎn)進(jìn)行曲線擬合，得到傳感器在晶圓上掃過的弧線。本發(fā)明提供的傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法，能夠?qū)崟r(shí)獲得傳感器相對(duì)于拋光頭中心的距離，獲取傳感器掃過晶圓時(shí)的弧線，獲得傳感器相對(duì)于晶圓的實(shí)時(shí)位置，可以由傳感器傳來的數(shù)據(jù)得知此時(shí)晶圓的研磨狀況，進(jìn)而可以對(duì)拋光頭的壓力進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整。

本發(fā)明授權(quán)一種傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種傳感器與晶圓相對(duì)軌跡追蹤方法，其特征在于，包括以下步驟： 獲取拋光盤2中心O1點(diǎn)與拋光頭3公轉(zhuǎn)中心O2點(diǎn)之間的距離L1； 獲取拋光頭3公轉(zhuǎn)中心O2點(diǎn)與拋光頭3中心A點(diǎn)之間的距離L2； 獲取傳感器1所處的位置B點(diǎn)與拋光盤2中心O1點(diǎn)之間的距離L3； 獲取拋光盤2的轉(zhuǎn)速Rpm1，根據(jù)拋光頭3運(yùn)動(dòng)公式得出拋光頭3自轉(zhuǎn)中心在T2－T1時(shí)間內(nèi)的弧長位移S1； 獲取角FO1O2的大小，包括：以O(shè)1為極點(diǎn)，O1O2的連線為極軸，通過弧度角公式可得知，角FO1B的弧度角為： ∠FO1B＝2*π60*Rpm1*T2-T1 其中，傳感器1掃到晶圓時(shí)的時(shí)間T1，傳感器1上傳數(shù)據(jù)的時(shí)間T2，T1時(shí)刻傳感器1在拋光盤上所處半徑為O1F，T2時(shí)刻拋光頭3中心為A點(diǎn)； 計(jì)算BO1O2的弧度角為： ∠BO1O2＝∠FO1O2-∠FO1B 根據(jù)弧度角，計(jì)算B點(diǎn)的極坐標(biāo)為L3，∠BO1O2； 計(jì)算角AO2O1的弧度角為： ∠AO2O1＝S1L2； 根據(jù)三角形余弦定理，計(jì)算AO1的長度為： 計(jì)算角AO1O2的弧度角為： ∠AO1O2＝arcsinL2*sin∠AO2O1AO1； 計(jì)算A點(diǎn)的極坐標(biāo)為AO1，∠AO1O2； 將A點(diǎn)和B點(diǎn)的極坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為以O(shè)1為原點(diǎn)的直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)： AAO1*cos∠AO1O2，AO1*sin∠AO1O2； BL3*cos∠BO1O2，L3*sin∠BO1O2； 根據(jù)兩點(diǎn)距離公式可推算出AB兩點(diǎn)之間的距離，計(jì)算傳感器相對(duì)于拋光頭自轉(zhuǎn)中心的距離為： 在T1時(shí)刻，以A點(diǎn)此刻所處的位置為圓心，AB此刻的長度為半徑形成第一圓，第一圓與晶圓邊緣產(chǎn)生第一交點(diǎn)； 經(jīng)過預(yù)設(shè)時(shí)間后，以當(dāng)前時(shí)刻A點(diǎn)所處位置處為圓心，AB此刻的長度為半徑形成第二圓，第二圓與第一圓產(chǎn)生第二交點(diǎn)； 交點(diǎn)獲取步驟：再次經(jīng)過預(yù)設(shè)時(shí)間后，以此刻A點(diǎn)所處位置處為圓心，AB此刻的長度為半徑形成第三圓，第三圓與第二圓產(chǎn)生第三交點(diǎn)； 重復(fù)執(zhí)行交點(diǎn)獲取步驟，直至傳感器1脫離晶圓的位置時(shí)，得到若干交點(diǎn)； 傳感器1在掃過晶圓時(shí)，通過將若干交點(diǎn)進(jìn)行曲線擬合，得到傳感器1在晶圓上掃過的弧線； 所述追蹤方法還包括有控制器，所述控制器與傳感器1通信連接；所述追蹤方法還包括有壓力調(diào)節(jié)裝置，與所述拋光頭3連接，且所述壓力調(diào)節(jié)裝置與所述控制器通信連接。

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