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龍圖騰網(wǎng)獲悉中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司申請(qǐng)的專利圖形設(shè)計(jì)方法及系統(tǒng)、掩膜版組合、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115145111B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110339421.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F1/70；該發(fā)明授權(quán)圖形設(shè)計(jì)方法及系統(tǒng)、掩膜版組合、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)是由王蘭芳;杜杳雋;李亮;劉娜設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-03-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本圖形設(shè)計(jì)方法及系統(tǒng)、掩膜版組合、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在說(shuō)明書摘要公布了：一種圖形設(shè)計(jì)方法及系統(tǒng)、掩膜版組合、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，圖形設(shè)計(jì)方法包括：提供初始圖形，包括多個(gè)主圖形；定義相鄰主圖形之間的距離為間距；設(shè)置預(yù)設(shè)問題間距，包括違例間距和弱點(diǎn)間距，違例間距小于光刻分辨率極限，且弱點(diǎn)間距大于光刻分辨率極限；基于預(yù)設(shè)問題間距，配置預(yù)設(shè)問題圖形，包括：由一對(duì)具有違例間距的相鄰主圖形組成的違例圖形對(duì)，以及由位于中心位置的中心主圖形、和與中心主圖形之間具有弱點(diǎn)間距的至少兩個(gè)邊緣主圖形組成的弱點(diǎn)圖形組合；對(duì)初始圖形進(jìn)行拆分，且對(duì)違例圖形對(duì)的拆分優(yōu)先級(jí)高于對(duì)弱點(diǎn)圖形組合的拆分優(yōu)先級(jí)，獲得多個(gè)子圖形層。本發(fā)明實(shí)施例有利于增大子圖形層的光刻工藝窗口，提高光刻工藝的成像質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)圖形設(shè)計(jì)方法及系統(tǒng)、掩膜版組合、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種圖形設(shè)計(jì)方法，其特征在于，包括： 提供初始圖形，包括多個(gè)主圖形；定義相鄰主圖形之間的距離為間距； 設(shè)置預(yù)設(shè)問題間距，包括違例間距和弱點(diǎn)間距，所述違例間距小于光刻分辨率極限，且所述弱點(diǎn)間距大于光刻分辨率極限，所述光刻分辨率極限表示在進(jìn)行光刻工藝時(shí)，曝光過(guò)程中能分辨出的最小的圖形之間的間距； 基于所述預(yù)設(shè)問題間距，配置預(yù)設(shè)問題圖形，包括：由一對(duì)具有所述違例間距的相鄰主圖形組成的違例圖形對(duì)，以及由位于中心位置的中心主圖形、和與所述中心主圖形之間具有所述弱點(diǎn)間距的至少兩個(gè)邊緣主圖形組成的弱點(diǎn)圖形組合； 對(duì)所述初始圖形進(jìn)行拆分，且對(duì)所述違例圖形對(duì)的拆分優(yōu)先級(jí)高于對(duì)所述弱點(diǎn)圖形組合的拆分優(yōu)先級(jí)，獲得多個(gè)子圖形層。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張江路18號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。