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龍圖騰網(wǎng)獲悉埃地沃茲日本有限公司申請(qǐng)的專利真空排氣裝置以及用于該真空排氣裝置的真空泵獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114729646B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080081238.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F04D19/04；該發(fā)明授權(quán)真空排氣裝置以及用于該真空排氣裝置的真空泵是由大立好伸;前島靖;高阿田勉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本真空排氣裝置以及用于該真空排氣裝置的真空泵在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種能夠高精度且高速地控制被排氣室內(nèi)的壓力的真空排氣裝置以及用于其的真空泵。具有：真空泵（1），具備通過旋轉(zhuǎn)而將被排氣室（4）的內(nèi)部排氣的轉(zhuǎn)子、具有吸氣口的殼體；閥（2），配置在真空泵（1）的吸氣口與被排氣室的排氣口之間；控制裝置（3），將被排氣室（4）的內(nèi)部的壓力控制為與目標(biāo)值一致。控制裝置（3）中，在被排氣室（4）的內(nèi)部的壓力與目標(biāo)值的差的絕對(duì)值大于既定值時(shí)調(diào)整閥（2）的開度，在被排氣室（4）的內(nèi)部的壓力與目標(biāo)值的差的絕對(duì)值小于既定值時(shí)調(diào)整真空泵（1）的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度。

本發(fā)明授權(quán)真空排氣裝置以及用于該真空排氣裝置的真空泵在權(quán)利要求書中公布了：1.一種真空排氣裝置，具有： 真空泵，具備通過旋轉(zhuǎn)而對(duì)被排氣室的內(nèi)部進(jìn)行排氣的轉(zhuǎn)子、具有吸氣口的殼體， 閥，配置在前述真空泵的前述吸氣口與前述被排氣室的排氣口之間， 控制裝置，對(duì)前述被排氣室的內(nèi)部的壓力進(jìn)行控制使之與目標(biāo)值一致， 所述真空排氣裝置的特征在于， 前述控制裝置為，在前述目標(biāo)值與前述壓力的差的絕對(duì)值大于既定值時(shí)，進(jìn)行控制并且調(diào)整前述閥的開度而使得前述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度一定，在前述差的絕對(duì)值小于前述既定值時(shí)，進(jìn)行控制并且調(diào)整前述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度而使得前述閥的開度一定，從而控制前述壓力。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人埃地沃茲日本有限公司，其通訊地址為：日本千葉縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。