中國電子科技集團公司第四十八研究所龔杰洪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種平板式PECVD設備閥門密封裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111750119B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910249599.5,技術領域涉及:F16K1/20;該發明授權一種平板式PECVD設備閥門密封裝置是由龔杰洪;陳特超;楊彬;唐電;李建志設計研發完成,并于2019-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種平板式PECVD設備閥門密封裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種平板式PECVD設備閥門密封裝置,包括閥體、閥板、設于閥板上的密封圈、以及用于帶動閥板啟閉的轉軸,所述閥板上固設有第一連接件,所述轉軸上固設有第二連接件,所述第二連接件上固設有連接銷,所述第一連接件上設有豎向的腰型孔,所述連接銷設于所述腰型孔中。本發明具有結構簡單、可靠、有利于防止密封圈扭轉損壞等優點。
本發明授權一種平板式PECVD設備閥門密封裝置在權利要求書中公布了:1.一種平板式PECVD設備閥門密封裝置,其特征在于:包括閥體(1)、閥板(2)、設于閥板(2)上的密封圈(3)、以及用于帶動閥板(2)啟閉的轉軸(4),所述閥板(2)上固設有第一連接件(21),所述轉軸(4)上固設有第二連接件(41),所述第二連接件(41)上固設有連接銷(42),所述轉軸(4)旋轉時可帶動所述第二連接件(41)和所述連接銷(42)擺動,所述第一連接件(21)上設有豎向的腰型孔(22),所述連接銷(42)設于所述腰型孔(22)中,當所述閥板(2)壓緊于所述閥體(1)上時,所述連接銷(42)與所述腰型孔(22)上下兩端具有間隙,用于消除所述第一連接件(21)及閥板(2)豎向的位移。
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