佳能株式會(huì)社婁明吉獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉佳能株式會(huì)社申請(qǐng)的專利使用反饋和前饋控制的納米壓印光刻中的對(duì)準(zhǔn)控制獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114667485B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202080078826.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G03F7/00;該發(fā)明授權(quán)使用反饋和前饋控制的納米壓印光刻中的對(duì)準(zhǔn)控制是由婁明吉;崔炳鎮(zhèn);J·D·克萊因;吉田貴裕;S·T·詹金斯設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-10-27向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本使用反饋和前饋控制的納米壓印光刻中的對(duì)準(zhǔn)控制在說明書摘要公布了:提供了用于控制其上支撐有基板的可移動(dòng)的臺(tái)架的位置的系統(tǒng)和方法。從傳感器獲得表示相對(duì)于物體上的標(biāo)記的基板的位置的第一位置信息。基于所獲得的第一位置來生成對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息,其中,所生成的對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息包括至少一個(gè)參數(shù)值。基于所獲得的第一位置信息和所生成的對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息來生成包括該至少一個(gè)參數(shù)值的第一軌跡信息。基于所生成的對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息、第一軌跡信息和第二位置信息來生成第二軌跡信息,其中,第二位置信息表示可移動(dòng)的臺(tái)架的位置。基于第二軌跡信息來生成輸出控制信號(hào),并且使用輸出控制信號(hào)基于所生成的輸出信號(hào)來控制可移動(dòng)的臺(tái)架接近目標(biāo)位置。
本發(fā)明授權(quán)使用反饋和前饋控制的納米壓印光刻中的對(duì)準(zhǔn)控制在權(quán)利要求書中公布了:1.一種控制可移動(dòng)的臺(tái)架的位置的方法,所述可移動(dòng)的臺(tái)架使基板被支撐在其上,所述方法包括: 從傳感器獲得表示相對(duì)于物體上的標(biāo)記的基板的位置的第一位置信息; 基于所獲得的第一位置信息來生成對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息,所生成的對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息包括至少一個(gè)參數(shù)值; 基于所獲得的第一位置信息和所生成的對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息來生成包括所述至少一個(gè)參數(shù)值的第一軌跡信息; 基于所生成的對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息、第一軌跡信息和第二位置信息來生成第二軌跡信息,其中,第二位置信息表示可移動(dòng)的臺(tái)架的位置; 基于第二軌跡信息來生成輸出控制信號(hào); 基于所生成的輸出信號(hào)來控制可移動(dòng)的臺(tái)架接近目標(biāo)位置;以及 基于在可移動(dòng)的臺(tái)架已根據(jù)輸出控制信號(hào)移動(dòng)之后由圖像捕獲設(shè)備獲得的更新的第一位置信息來更新對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息和包括在對(duì)準(zhǔn)預(yù)測(cè)信息中的所述至少一個(gè)參數(shù)值。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人佳能株式會(huì)社,其通訊地址為:日本東京;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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