科磊股份有限公司李詩芳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉科磊股份有限公司申請的專利用于在后端及晶片級封裝中半導體檢驗的高分辨率檢查的系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115244389B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080098036.1，技術領域涉及：G01N21/95；該發明授權用于在后端及晶片級封裝中半導體檢驗的高分辨率檢查的系統及方法是由李詩芳設計研發完成，并于2020-04-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于在后端及晶片級封裝中半導體檢驗的高分辨率檢查的系統及方法在說明書摘要公布了：一種檢查系統及操作方法引導光束朝向載臺上的樣本。樣本是晶片級封裝晶片或后端晶片。基于從樣品反射的光執行缺陷檢查。所述檢查系統可使用以下中的一或多者：由浸入子系統供應的流體，所述子系統包含流體供應單元及流體去除單元；照明圖案，其用于差分相位對比；或紫外線或深紫外線波長。
本發明授權用于在后端及晶片級封裝中半導體檢驗的高分辨率檢查的系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種檢查系統，其包括： 載臺，其具有安置于其上的樣本，其中所述樣本是晶片級封裝晶片或后端晶片； 光源，其經配置以向所述樣本發射光束，其中所述光源包含發射紫外線或深紫外線波長的白光源，且其中所述光源包括中繼透鏡； 檢測器，其經配置以檢測由所述樣本反射的所述光束的一部分； 多個物鏡，其中所述中繼透鏡經配置以使由所述樣本反射的所述光束通過所述物鏡中的至少一者成像到所述檢測器，其中所述檢測器使用幀抓取器模塊將來自所述中繼透鏡的所述光束轉換為圖像，且其中所述幀抓取器模塊與所述載臺同步； 浸入子系統，其包含液體供應器以及液體去除器，其中所述浸入子系統經配置以在所述物鏡中的一者和所述樣本之間提供來自所述液體供應器的液體；以及 處理器，其與所述檢測器電子通信，其中所述處理器經配置以對所述樣本執行缺陷檢查。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人科磊股份有限公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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