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龍圖騰網獲悉天津大學申請的專利一種點掃描形貌儀高度方向跳動誤差的校正方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120368852B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510888193.7，技術領域涉及：G01B11/00；該發明授權一種點掃描形貌儀高度方向跳動誤差的校正方法是由劉慶綱;李陽;陳曼桐;佘碩鋮;左嘉晨;王奇設計研發完成，并于2025-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種點掃描形貌儀高度方向跳動誤差的校正方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種點掃描形貌儀高度方向跳動誤差的校正方法，解決了現有技術中點掃描形貌儀存在高度方向的跳動誤差、測量精度低的問題。本發明誤差校正方法采用的點掃描形貌儀包括底座，底座上設有龍門立柱和Y向直驅運動臺，龍門立柱上設有豎向絲桿模組，豎向絲桿模組上設有垂直運動組件；垂直運動組件包括相連接的回轉臺和擺動臺；擺動臺上設有高精度位移傳感器；Y向直驅運動臺上設有X向直驅運動臺；X向直驅運動臺上設有大理石調平臺。本發明利用點掃描形貌儀自帶的高精度位移傳感器有效降低X向和Y向直驅運動臺行走時的跳動誤差對樣品高度信息測量結果的影響；非接觸式測量在保證測量效率的同時，避免了探針與樣品間的摩擦、磨損；有效保證了樣品形貌測量的準確性。

本發明授權一種點掃描形貌儀高度方向跳動誤差的校正方法在權利要求書中公布了：1.一種點掃描形貌儀高度方向跳動誤差的校正方法，其特征在于：步驟如下：S1：調節調平臺（10），使其保持水平；然后調整高精度位移傳感器（8）高度，使調平臺（10）的整體表面高度變化信息在高精度位移傳感器（8）的量程以內，調節垂直運動組件上的回轉臺（5）和擺動臺（6），使高精度位移傳感器（8）在某掃描點的高度測量結果最小； S2：控制X向直驅運動臺（11）和Y向直驅運動臺（12）運動，使高精度位移傳感器（8）的出射光點在調平臺（10）的上表面，相對于調平臺（10）以一定的間距做“S”形的點掃描運動，并使掃描點均勻分布于調平臺（10）的上表面；高精度位移傳感器（8）獲取對應掃描點（X’，Y’）坐標下的高度點云數據，記為Z’，其中，對于起始點（X1 ’，Y1 ’）坐標下的高度點云數據，記為Z1 ’，則得到其后任意一掃描點相對于起始點（X1 ’，Y1 ’）的高度方向跳動誤差：△Z’=Z’-Z1 ’； S3：對步驟S2中獲取的高度點云數據Z’做離散點優化與網格化插值處理，并記為Z’’； S4：高度點云數據Z’經離散點優化與網格化插值處理后，可得到點掃描邊界內任意一點坐標（X’’，Y’’）對應的高度數據Z’’和該點相對于起始點（X1 ’，Y1 ’）在高度方向上的跳動誤差：△Z’’=Z’’-Z1 ’； S5：將被測樣品（9）放置在調平臺（10）上，高精度位移傳感器（8）對被測樣品（9）進行點掃描，使其掃描范圍在上述調平臺點掃描范圍的邊界以內，并使其第一個掃描點（X1 ’’’，Y1 ’’’）坐標與起始點（X1 ’，Y1 ’）坐標一致，其后，任意一掃描點的坐標記為（X’’’，Y’’’），由高精度位移傳感器（8）測得的高度數據記為高度點云數據Z’’’；所得的高度點云數據Z’’’經步驟S3中的（a）、（b）和（c）方法處理后，由步驟S3中（d）雙線性插值法計算得到該任意一掃描點（X’’’，Y’’’）對應的無被測樣品時的高度數據，記為Z’’，則該任意一掃描點相對于起始點（X1 ’，Y1 ’）的原始的高度跳動誤差：△Z’’’=Z’’-Z1 ’，之后，則得到校正了原始的高度跳動誤差后的被測樣品（9）的高度點云數據：ZR=Z’’’-△Z’’’。

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