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龍圖騰網獲悉電子科技大學申請的專利一種基于太赫茲片上光譜的芯片電路缺陷檢測系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120275812B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510780734.4，技術領域涉及：G01R31/311；該發明授權一種基于太赫茲片上光譜的芯片電路缺陷檢測系統及方法是由唐福;胡旻;陳義強;趙昊;劉加豪;賓澤川;許星星;王之哲;陳方舟;李元晟設計研發完成，并于2025-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于太赫茲片上光譜的芯片電路缺陷檢測系統及方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種基于太赫茲片上光譜的芯片電路缺陷檢測系統及方法，系統包括：激光器，用于產生飛秒激光；分光鏡，用于將所述飛秒激光分束為發射光和接收光；發射端，用于所述發射光入射后產生太赫茲波，所述太赫茲波耦合傳輸至接收端；接收端，用于所述接收光入射，并基于所述接收光和所述太赫茲波產生電流信號；射頻探針，用于將所述電流信號傳輸至待檢測芯片。本發明基于發射端向接收端耦合傳輸的太赫茲波以在接收端產生用于檢測的電流信號的方式，將傳統的遠場檢測轉變為近場檢測，不僅能夠顯著地提高信噪比和傳輸效率，而且這種方式可以適用于更高頻率的太赫茲波，有效地提高了檢測的精度。

本發明授權一種基于太赫茲片上光譜的芯片電路缺陷檢測系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種基于太赫茲片上光譜的芯片電路缺陷檢測系統，其特征在于，所述系統包括： 激光器（1），用于產生飛秒激光； 分光鏡（2），用于將所述飛秒激光分束為發射光和接收光； 發射端（3），用于所述發射光入射后產生太赫茲波，所述太赫茲波耦合傳輸至接收端（4）； 接收端（4），用于所述接收光入射，并基于所述接收光和所述太赫茲波產生電流信號； 射頻探針（5），用于將發射端（3）產生的太赫茲信號傳輸至待檢測芯片； 所述發射端（3）包括發射天線（32）以及連接至所述發射天線（32）上的兩根相互平行的第一傳輸線（31），所述第一傳輸線（31）連接有直流偏壓源（33）；所述接收端（4）包括接收天線（42）以及連接至所述接收天線（42）上的兩根相互平行的第二傳輸線（41），所述第二傳輸線（41）連接至所述射頻探針（5），所述第二傳輸線（41）上還設置有弱信號放大的電流計（43）； 所述第一傳輸線（31）平行于所述第二傳輸線（41），所述第一傳輸線（31）包括耦合傳輸段和非耦合傳輸段，所述耦合傳輸段與所述第二傳輸線（41）之間的距離小于所述非耦合傳輸段與第二傳輸線（41）之間的距離。

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