北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司郝云鵬獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利定位工裝和機械手的位置校準方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115332139B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202211054907.7，技術領域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權定位工裝和機械手的位置校準方法是由郝云鵬;唐鵬設計研發(fā)完成，并于2022-08-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本定位工裝和機械手的位置校準方法在說明書摘要公布了：本申請公開一種定位工裝和機械手的位置校準方法，定位工裝包括基座、夾持組件和定位組件；基座用于可拆卸地設置于半導體工藝設備中的承載盤的承載面的定位位置上；夾持組件包括支撐件和夾緊件，支撐件滑動設置于基座上，夾緊件設置于支撐件背離基座的一側，支撐件上設有定位部，定位部用于和機械手的對應位置配合，以對機械手進行定位，夾緊件和支撐件用于夾持固定機械手；定位組件設置于支撐件上，基座上設有限位部，定位組件和限位部配合，用以將支撐件固定于基座的校準位置處。上述定位工裝可以解決目前對機械手進行位置糾偏的方式存在精度較差，且容易對晶圓的潔凈度產生嚴重不良影響的問題。
本發(fā)明授權定位工裝和機械手的位置校準方法在權利要求書中公布了：1.一種定位工裝，用于對半導體工藝設備中的機械手進行位置校準，其特征在于，所述定位工裝包括基座、夾持組件和定位組件； 所述基座用于可拆卸地設置于所述半導體工藝設備中的承載盤的承載面的定位位置上； 所述夾持組件包括支撐件和夾緊件，所述支撐件滑動設置于所述基座上，所述夾緊件設置于所述支撐件背離所述基座的一側，所述支撐件上設有定位部，所述定位部用于和所述機械手的對應位置配合，以對所述機械手進行定位，所述夾緊件和所述支撐件用于夾持固定所述機械手； 所述定位組件設置于所述支撐件上，所述基座上設有限位部，所述定位組件和所述限位部配合，用以將所述支撐件固定于所述基座的校準位置處。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)文昌大道8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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