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龍圖騰網獲悉長鑫存儲技術有限公司申請的專利一種半導體工藝流程的管理方法、裝置及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116860724B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210275080.6，技術領域涉及：G06F16/215；該發明授權一種半導體工藝流程的管理方法、裝置及設備是由徐瑩;鄭悅文設計研發完成，并于2022-03-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體工藝流程的管理方法、裝置及設備在說明書摘要公布了：本公開提供了一種半導體工藝流程的管理方法、裝置及設備，屬于半導體技術領域，響應于數據修改指令，獲取對半導體工藝流程中參數進行修改的修改指示信息；根據所述修改指示信息確定修改的參數所屬的目標路徑及目標站點，并提取所述修改的參數中的第一關鍵詞；在與所述目標路徑相同或不同路徑中各站點相關參數中進行與第一關鍵詞相匹配的第二關鍵詞搜索，確定與所述修改的參數相關聯的關聯站點及其所在的路徑；將所述關聯站點及其所在的路徑作為關聯數據輸出，根據用戶的指示確定是否對所述修改的參數進行修改。通過本公開提供的方法解決了目前手動去查找耗費時間長，操作復雜，若修改內容種類多，數量大，且會存在遺漏的問題。

本發明授權一種半導體工藝流程的管理方法、裝置及設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝流程的管理方法，其特征在于，所述方法包括： 響應于數據修改指令，獲取對半導體工藝流程中參數進行修改的修改指示信息，所述半導體工藝流程包括對應不同控制節點的路徑，其中，將各控制節點執行的多個獨立工藝子流程分別作為站點，按照執行順序排序得到所述路徑； 根據所述修改指示信息確定修改的參數所屬的目標路徑及目標站點，并提取所述修改的參數中的第一關鍵詞；在提取第一關鍵詞時，需對修改指示信息進行全局遍歷，按照預設順序逐個對所述修改指示信息中修改的參數提取第一關鍵詞；所述關鍵詞為預先配置好的，預先確定不同路徑中各站點相關參數所屬類型，確定不同類型的相關參數對應的修改項目，并配置不同修改項目對應的關鍵詞，不同的修改項目對應不同的關鍵詞； 在與所述目標路徑相同或不同路徑中各站點相關參數中進行與第一關鍵詞相匹配的第二關鍵詞搜索，確定與所述修改的參數相關聯的關聯站點及其所在的路徑； 將所述關聯站點及其所在的路徑作為關聯數據輸出，根據用戶的指示確定是否對所述修改的參數進行修改。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長鑫存儲技術有限公司，其通訊地址為：230000 安徽省合肥市經濟技術開發區空港工業園興業大道388號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。