長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司陳陽獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司申請的專利三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其制造方法、三維存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114497058B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為:202210112076.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B43/30;該發(fā)明授權(quán)三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其制造方法、三維存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)系統(tǒng)是由陳陽;王迪;張中;周文犀設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-01-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其制造方法、三維存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本公開涉及一種三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其制造方法、三維存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)系統(tǒng)。該用于制造三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)的方法包括:在襯底上形成疊層結(jié)構(gòu),其中,疊層結(jié)構(gòu)包括通過堆疊第一材料層和第二材料層形成的多個(gè)堆疊層;在疊層結(jié)構(gòu)中形成多個(gè)接觸孔,接觸孔自疊層結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)沿多個(gè)堆疊層的堆疊方向延伸,多個(gè)接觸孔包括至少兩組接觸孔;延長每組接觸孔中的至少一個(gè),使同一組接觸孔中的每個(gè)接觸孔延伸至不同高度位置的第一材料層;延長至少一組的接觸孔,使每組接觸孔中的任一個(gè)接觸孔與其他組接觸孔中的任一個(gè)接觸孔延伸至不同的高度位置;以及在接觸孔中形成導(dǎo)電通道結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明授權(quán)三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其制造方法、三維存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于制造三維存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)的方法,其特征在于,包括: 在襯底上形成疊層結(jié)構(gòu),其中,所述疊層結(jié)構(gòu)包括通過堆疊第一材料層和第二材料層形成的多個(gè)堆疊層; 在所述疊層結(jié)構(gòu)中形成多個(gè)接觸孔,所述接觸孔自所述疊層結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)沿所述多個(gè)堆疊層的堆疊方向延伸,所述多個(gè)接觸孔包括至少兩組接觸孔; 延長每組所述接觸孔中的至少一個(gè),使同一組所述接觸孔中的每個(gè)所述接觸孔延伸至不同高度位置的所述第一材料層; 延長至少一組的所述接觸孔,使每組所述接觸孔中的任一個(gè)接觸孔與其他組所述接觸孔中的任一個(gè)接觸孔延伸至不同的高度位置; 以及在所述接觸孔中形成導(dǎo)電通道結(jié)構(gòu); 形成貫穿所述襯底和所述疊層結(jié)構(gòu)的虛擬溝道結(jié)構(gòu),沿平行于所述襯底表面的方向,所述虛擬溝道結(jié)構(gòu)的貫穿所述襯底的部分的尺寸大于所述虛擬溝道結(jié)構(gòu)的貫穿所述疊層結(jié)構(gòu)的部分的尺寸;相鄰的所述導(dǎo)電通道結(jié)構(gòu)之間具有所述虛擬溝道結(jié)構(gòu)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司,其通訊地址為:430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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