株式會社島津制作所小崎純一郎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社島津制作所申請的專利閥控制裝置以及推斷裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115111422B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110288705.8，技術領域涉及：F16K31/04；該發明授權閥控制裝置以及推斷裝置是由小崎純一郎設計研發完成，并于2021-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本閥控制裝置以及推斷裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種閥控制裝置以及推斷裝置，閥控制裝置可謀求調壓控制的精度提升。在閥控制裝置1b中，運算部210在朝腔室導入氣體時將閥體12的開度θr固定成一定，并基于閥體12的開度θr已被固定成一定時的壓力測量值Pr的變化信息，推斷真空閥1的排氣信息。而且，調壓控制部21基于所述排氣信息來控制閥體12的開度，進行腔室的調壓控制。
本發明授權閥控制裝置以及推斷裝置在權利要求書中公布了：1.一種閥控制裝置，是基于安裝有真空閥的腔室的壓力測量值與所述腔室的壓力目標值來控制閥體開度，進行所述腔室的調壓的閥控制裝置，其中，包括： 開度設定部，在朝所述腔室導入氣體時將所述閥體開度固定成一定；以及 推斷部，在所述閥體開度已被固定成一定的狀態中，基于算出的量與差量的比，推斷所述真空閥的排氣信息，所述算出的量是基于不同時刻的第一時刻以及第二時刻的壓力測量值以及不同時刻壓力測量值的經時的壓力變化率的差所算出的量，所述差量是所述第一時刻與所述第二時刻的所述壓力測量值的差量； 所述閥控制裝置基于所述排氣信息來控制所述閥體開度，進行所述腔室的調壓控制。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社島津制作所，其通訊地址為：日本京都府京都市中京區西之京桑原町1番地；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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