買(mǎi)專(zhuān)利賣(mài)專(zhuān)利找龍圖騰，真高效！ 查專(zhuān)利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專(zhuān)利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉上海科技大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利聚焦掃描式脈沖激光薄膜沉積裝置以及沉積方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112760600B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202110068553.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/28；該發(fā)明授權(quán)聚焦掃描式脈沖激光薄膜沉積裝置以及沉積方法是由袁凱笛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本聚焦掃描式脈沖激光薄膜沉積裝置以及沉積方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及一種聚焦掃描式脈沖激光薄膜沉積裝置以及沉積方法，利用匯聚透鏡將準(zhǔn)直激光匯聚到0.01mm量級(jí)，焦點(diǎn)落在靶材上，達(dá)到106Wcm2以上的平均功率密度和109Wcm2以上的峰值功率密度，使固態(tài)靶材表面原子氣化從而實(shí)現(xiàn)樣品處薄膜沉積。該設(shè)備通過(guò)X、Y方向的振鏡，使光斑在靶材表面進(jìn)行面掃描；再通過(guò)Z方向的實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)以使靶面的光斑始終處于焦點(diǎn)位置。靶材位置也可放置多種材料，通過(guò)激光開(kāi)合、輸出功率與兩組振鏡及Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)多組分薄膜的沉積。激光器不使用有毒有害氣體、沉積過(guò)程在時(shí)間上均勻性好，可以在不換靶的情況下自由調(diào)節(jié)所沉積樣品的化學(xué)組分，提高了薄膜沉積的可控性與便捷性。

本發(fā)明授權(quán)聚焦掃描式脈沖激光薄膜沉積裝置以及沉積方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種聚焦掃描式脈沖激光薄膜沉積裝置，其特征在于，包括脈沖光纖激光器（1）、準(zhǔn)直鏡（2）、X方向振鏡（4）、Y方向振鏡（5）、匯聚透鏡（6）、視窗（7）、靶材（8）、Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（10）、控制器以及真空腔體（11）；脈沖光纖激光器（1）所發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直鏡（2）后輸出準(zhǔn)直光，準(zhǔn)直光入射到X方向振鏡（4）上，經(jīng)X方向振鏡（4）反射入Y方向振鏡（5），再經(jīng)Y方向振鏡（5）反射至匯聚透鏡（6），通過(guò)匯聚透鏡（6）后成為匯聚光束，匯聚光束通過(guò)真空腔體（11）上的視窗（7）導(dǎo)入真空腔體（11）內(nèi)，通過(guò)Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（10）調(diào)節(jié)靶材（8）與匯聚透鏡（6）在光軸方向上的相對(duì)位置，待薄膜沉積樣品（9）正對(duì)靶材（8）表面，控制器與脈沖光纖激光器（1）通信，控制器輸出控制信號(hào)至X方向振鏡（4）、Y方向振鏡（5）和Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（10），使匯聚光束焦點(diǎn)剛好落在靶材（8）的表面，焦點(diǎn)處的光斑峰值功率密度超過(guò)靶材（8）的氣化閾值，從而使靶材（8）上的靶料揮發(fā)，對(duì)樣品（9）進(jìn)行薄膜沉積； 所述靶材（8）上間隔安裝數(shù)種不同靶料，控制器制定掃描方案，通過(guò)脈沖光纖激光器（1）開(kāi)合、脈沖光纖激光器（1）輸出功率大小、X方向振鏡（4）、Y方向振鏡（5）及Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（10）的聯(lián)動(dòng)，控制每種靶料的揮發(fā)速率，實(shí)現(xiàn)多組分薄膜的均勻沉積。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人上海科技大學(xué)，其通訊地址為：201210 上海市浦東新區(qū)華夏中路393號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。