連城凱克斯科技有限公司王學衛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉連城凱克斯科技有限公司申請的專利硬軸重載硅單晶提拉裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111962141B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010970479.7,技術領域涉及:C30B15/00;該發明授權硬軸重載硅單晶提拉裝置是由王學衛;李占賢;李方;曹玉寶;尹嘉琦設計研發完成,并于2020-09-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本硬軸重載硅單晶提拉裝置在說明書摘要公布了:本發明提供一種硬軸重載硅單晶提拉裝置,包括支撐結構、單晶體承重外硬軸且其底部安裝有單晶體卡爪、籽晶承重內硬軸且其底部安裝有籽晶卡頭、用于驅動所述單晶體承重外硬軸轉動的旋轉驅動裝置、用于驅動所述單晶體承重外硬軸升降的外硬軸升降裝置和用于驅動所述籽晶承重內硬軸升降的內硬軸升降裝置。本發明實現了內硬軸和外硬軸的同步旋轉運動、外硬軸的單獨升降運動和內硬軸的單獨升降運動,具有較強的強度和剛度,能夠承載500Kg以上重量的單晶體,彌補軟軸提拉裝置承載能力不足、避免軟軸提拉裝置中的軟軸擺動和單擺共振現象,能夠克服熱場對稱性偏差、氣流激勵作用力對稱性偏差等方面引起的晶體擾動。
本發明授權硬軸重載硅單晶提拉裝置在權利要求書中公布了:1.一種硬軸重載硅單晶提拉裝置,其特征在于,包括: 支撐結構,豎直固定在真空爐室頂部; 單晶體承重外硬軸,其為中空結構,并豎直安裝在所述支撐結構中,且其底部穿入所述真空爐室內,所述單晶體承重外硬軸內壁加工有豎直延伸的花鍵槽; 籽晶承重內硬軸,豎直設置在所述單晶體承重外硬軸內,所述籽晶承重內硬軸的外壁具有與所述花鍵槽配合的花鍵;通過所述花鍵和所述花鍵槽實現單晶體承重外硬軸和所述籽晶承重內硬軸之間的上下滑動連接和周向能夠同步運動; 單晶體卡爪,與所述單晶體承重外硬軸的底部固定連接,用于夾持單晶體的小肩部; 籽晶卡頭,與所述籽晶承重內硬軸底部固定連接,用于固定所述單晶體頂部的籽晶; 旋轉驅動裝置,安裝在所述支撐結構內,且位于所述單晶體承重外硬軸的上方,用于驅動所述單晶體承重外硬軸轉動; 外硬軸升降裝置,安裝在所述支撐結構頂部,用于驅動所述單晶體承重外硬軸升降; 內硬軸升降裝置,安裝在所述支撐結構內,用于驅動所述籽晶承重內硬軸升降; 所述外硬軸升降裝置包括: 四根豎直設置的滑軌,所述支撐結構的橫截面呈正方形,且四根所述滑軌分別安裝在所述支撐結構的四個角處; 滑座,安裝在所述單晶體承重外硬軸的上部,且所述單晶體承重外硬軸軸向穿過所述滑座,所述滑座與所述單晶體承重外硬軸軸向固定連接,并通過磁流體實現與所述單晶體承重外硬軸之間的周向轉動連接,所述滑座的四個角分別與四根所述滑軌滑動連接; 兩個外硬軸升降驅動裝置,對稱安裝在所述支撐結構的頂部兩側; 所述外硬軸升降驅動裝置包括: 蝸桿減速器,固定安裝在所述支撐結構的外壁,且所述蝸桿減速器的輸出端安裝有外硬軸主動帶輪; 行星減速器,其輸出端與所述蝸桿減速器的輸入端連接; 外硬軸伺服電機,其輸出端與所述行星減速器的輸入端連接; 外硬軸絲杠,豎直安裝在所述支撐結構內,其絲桿的頂部固定有外硬軸從動帶輪,且絲桿穿過所述滑座,絲杠螺母與所述滑座固定連接; 同步齒形帶,用于連接所述外硬軸主動帶輪和所述外硬軸從動帶輪。
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