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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社迪思科申請的專利卡盤工作臺獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111599739B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010095934.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)卡盤工作臺是由現(xiàn)王園二郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-02-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本卡盤工作臺在說明書摘要公布了：提供卡盤工作臺，即使未利用清洗磨具對保持面進(jìn)行清洗，也將保持面維持在未附著加工屑的干凈的狀態(tài)，利用磨削或研磨加工使卡盤工作臺所保持的被加工物形成為均勻的厚度。卡盤工作臺3具有：多孔板30，其具有對被加工物進(jìn)行吸引保持的保持面30a；框體，其具有使保持面露出而對多孔板進(jìn)行收納的凹部310；槽，其形成于框體的凹部的底面上；以及提供路，其將槽與流體提供源連通，并且，多孔板具有剖面為倒碗狀的倒碗狀凹部，倒碗狀凹部按照當(dāng)多孔板被收納于凹部時與槽對應(yīng)的方式形成于多孔板的與保持面相反的相反面上，使槽與流體提供源連通而提供至倒碗狀凹部的流體從倒碗狀凹部呈放射狀朝向保持面流動，使流體從保持面噴出。

本發(fā)明授權(quán)卡盤工作臺在權(quán)利要求書中公布了：1.一種卡盤工作臺，其具有對被加工物進(jìn)行吸引保持的保持面，其中， 該卡盤工作臺具有： 多孔板，其具有該保持面； 框體，其具有使該保持面露出而對該多孔板進(jìn)行收納的凹部； 槽，其形成于該框體的該凹部的底面上；以及 提供路，其將該槽與流體提供源連通， 并且，該多孔板具有剖面為倒碗狀的倒碗狀凹部以及遮罩部，該倒碗狀凹部按照當(dāng)該多孔板被收納于該凹部時與該槽對應(yīng)的方式形成于該多孔板的與該保持面相反的相反面上，該遮罩部對該倒碗狀凹部的以最凹陷的位置為中心的規(guī)定的范圍進(jìn)行遮罩， 使該槽與該流體提供源連通而被提供至該倒碗狀凹部的流體被該遮罩部遮罩而防止該流體向正上方流動，該流體從該倒碗狀凹部呈放射狀朝向該保持面流動，并使流體從該保持面噴出。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社迪思科，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。