英特爾公司B.何獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉英特爾公司申請的專利用于先進(jìn)的集成電路結(jié)構(gòu)制造的鰭末端插塞結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN109860189B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:201811306956.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D84/85;該發(fā)明授權(quán)用于先進(jìn)的集成電路結(jié)構(gòu)制造的鰭末端插塞結(jié)構(gòu)是由B.何;C-K.黃;E.湯普森;J.盧斯;M.L.哈滕多夫;C.P.奧思設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2018-11-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本用于先進(jìn)的集成電路結(jié)構(gòu)制造的鰭末端插塞結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了用于先進(jìn)的集成電路結(jié)構(gòu)制造的鰭末端插塞結(jié)構(gòu)。本公開的實(shí)施例屬于先進(jìn)的集成電路結(jié)構(gòu)制造的領(lǐng)域,并且尤其是10納米節(jié)點(diǎn)以及更小的集成電路結(jié)構(gòu)制造和所得到的結(jié)構(gòu)的領(lǐng)域。在示例中,集成電路結(jié)構(gòu)包括在鰭的第一末端之上的第一隔離結(jié)構(gòu)。柵極結(jié)構(gòu)在所述鰭之上,并且沿著所述方向與第一隔離結(jié)構(gòu)間隔開。第二隔離結(jié)構(gòu)處于鰭的第二末端之上,第二末端與第一末端相對。將第二隔離結(jié)構(gòu)與所述柵極結(jié)構(gòu)間隔開。第一隔離結(jié)構(gòu)和第二隔離結(jié)構(gòu)二者都包括第一電介質(zhì)材料,其側(cè)向環(huán)繞與第一電介質(zhì)材料不同的凹陷的第二電介質(zhì)材料。所述凹陷的第二電介質(zhì)材料側(cè)向環(huán)繞與第一和第二電介質(zhì)材料不同的第三電介質(zhì)材料的至少一部分。
本發(fā)明授權(quán)用于先進(jìn)的集成電路結(jié)構(gòu)制造的鰭末端插塞結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種集成電路結(jié)構(gòu),包括: 包含硅的鰭,所述鰭具有頂部和側(cè)壁,其中所述頂部具有沿著一方向的最長尺寸; 在所述鰭的第一末端之上的第一隔離結(jié)構(gòu),其中所述第一隔離結(jié)構(gòu)的一部分位于所述鰭的頂部和側(cè)壁的第一部分上,并且其中所述第一隔離結(jié)構(gòu)的頂面位于所述鰭的所述頂部上方; 柵極結(jié)構(gòu),其包括在所述鰭的頂部之上并且與所述鰭的一區(qū)域的側(cè)壁側(cè)向相鄰的柵電極,其中沿著所述方向?qū)⑺鰱艠O結(jié)構(gòu)與第一隔離結(jié)構(gòu)間隔開;以及 在所述鰭的第二末端之上的第二隔離結(jié)構(gòu),第二末端與第一末端相對,其中所述第二隔離結(jié)構(gòu)的一部分位于所述鰭的頂部和側(cè)壁的第二部分上,沿著所述方向?qū)⒌诙綦x結(jié)構(gòu)與所述柵極結(jié)構(gòu)間隔開,其中所述第二隔離結(jié)構(gòu)的頂面位于所述鰭的所述頂部上方,以及其中第一隔離結(jié)構(gòu)和第二隔離結(jié)構(gòu)二者都包括第一電介質(zhì)材料,其側(cè)向環(huán)繞與第一電介質(zhì)材料不同的凹陷的第二電介質(zhì)材料,所述凹陷的第二電介質(zhì)材料側(cè)向環(huán)繞與第一和第二電介質(zhì)材料不同的第三電介質(zhì)材料的至少一部分。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人英特爾公司,其通訊地址為:美國加利福尼亞州;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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