中國科學院長春光學精密機械與物理研究所郭疆獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利一種高效水冷EUV光刻機反射鏡獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120386152B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510890882.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種高效水冷EUV光刻機反射鏡是由郭疆;楊利偉;周龍加;朱磊設計研發完成，并于2025-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高效水冷EUV光刻機反射鏡在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體光刻技術領域，具體涉及一種高效水冷EUV光刻機反射鏡，包括鏡體、密封柱塞和阻斷柱塞，鏡體的內部開設有多個橫向孔道和多個縱向孔道，橫向孔道和縱向孔道相互連通、并且延伸至鏡體的外部，橫向孔道和縱向孔道分別在鏡體的邊緣形成開口；多個密封柱塞嵌設于開口，其中，保留至少兩個開口作為入水口和出水口；多個阻斷柱塞分別嵌設于橫向孔道和縱向孔道，以使入水口和出水口之間形成連續的水冷孔道。由此，具有高效、高可靠性的冷卻性能，能夠降低高功率EUV光源對光刻機反射鏡的高溫影響，避免產生熱形變，提升光刻機反射鏡的工作性能以及長期穩定性。
本發明授權一種高效水冷EUV光刻機反射鏡在權利要求書中公布了：1.一種高效水冷EUV光刻機反射鏡，其特征在于，包括： 鏡體1，所述鏡體1的內部開設有多個橫向孔道11和多個縱向孔道12，所述橫向孔道11和所述縱向孔道12相互連通、并且延伸至所述鏡體1的外部，所述橫向孔道11和所述縱向孔道12分別在所述鏡體1的邊緣形成開口13； 密封柱塞2，多個所述密封柱塞2嵌設于所述開口13，其中，保留至少兩個所述開口13作為入水口41和出水口42； 阻斷柱塞3，多個所述阻斷柱塞3分別嵌設于所述橫向孔道11和所述縱向孔道12，以使所述入水口41和所述出水口42之間形成連續的水冷孔道43。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，其通訊地址為：130033 吉林省長春市經濟技術開發區東南湖大路3888號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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