買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉藍河科技(紹興)有限公司申請的專利氣體分配裝置和半導體設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120291061B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510756690.1，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權氣體分配裝置和半導體設備是由劉永明;周慧娟;張偉設計研發完成，并于2025-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本氣體分配裝置和半導體設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種氣體分配裝置和半導體設備，氣體分配裝置包括蓋體，設有進氣部；噴淋件，活動設于蓋體，與蓋體之間形成有與進氣部相通的擴散腔；升降隔離裝置，包括隔板部和升降部，升降部活動套設于隔板部，頂部與蓋體相貼合以使升降部分別與隔板部和蓋體之間均產生相互作用力，隔板部設于噴淋件以與升降部將擴散腔圍成不同氣室；驅動裝置，設于噴淋件底部并延伸至蓋體外，通過控制驅動裝置帶動噴淋件和隔板部遠離或朝向蓋體運動，使升降部頂部朝向或遠離蓋體運動，以調節升降隔離裝置所圍區域的容積。半導體設備，包括氣體分配裝置，以及與氣體分配裝置相對設置并用于承載基片的基座。本發明能夠實現提高氣流調整靈活度，提升設備兼容性。

本發明授權氣體分配裝置和半導體設備在權利要求書中公布了：1.一種氣體分配裝置，其特征在于，包括： 蓋體100，設有進氣部； 噴淋件200，活動設于所述蓋體100，與所述蓋體100之間形成有與所述進氣部相通的擴散腔300； 升降隔離裝置400，包括隔板部410和升降部420，所述升降部420活動套設于所述隔板部410，頂部與所述蓋體100相貼合以使所述升降部420分別與隔板部410和所述蓋體100之間均產生相互作用力，所述隔板部410設于所述噴淋件200以與所述升降部420將所述擴散腔300圍成不同氣室； 驅動裝置，設于所述噴淋件200底部并延伸至所述蓋體100外，通過控制所述驅動裝置帶動所述噴淋件200和所述隔板部410遠離或朝向所述蓋體100運動，使所述升降部420頂部朝向或遠離蓋體100運動，以調節所述升降隔離裝置400所圍區域的容積。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人藍河科技(紹興)有限公司，其通訊地址為：311800 浙江省紹興市諸暨市陶朱街道萬旺路8號1號樓1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。