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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體清洗設(shè)備及其承載裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114639632B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210168185.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體清洗設(shè)備及其承載裝置是由陳忠明;宋愛軍;趙宏宇;張敬博設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-02-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體清洗設(shè)備及其承載裝置在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備及其承載裝置。該承載裝置包括：卡盤結(jié)構(gòu)、密封轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)、擰緊結(jié)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；卡盤結(jié)構(gòu)的頂面用于承載晶圓；密封轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)的密封罩用于在卡盤結(jié)構(gòu)的底部形成有密封的安裝空間，并且卡盤結(jié)構(gòu)能相對(duì)于密封罩旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)與密封罩的底部固定連接；轉(zhuǎn)接組件位于安裝空間內(nèi)，并且分別與卡盤結(jié)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于通過轉(zhuǎn)接組件帶動(dòng)卡盤結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)；通過在密封罩底部操作擰緊結(jié)構(gòu)，使位于安裝空間內(nèi)的擰緊結(jié)構(gòu)動(dòng)作，以用于將轉(zhuǎn)接組件與卡盤結(jié)構(gòu)連接。本申請(qǐng)實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了卡盤結(jié)構(gòu)的頂面為一體式結(jié)構(gòu)，避免卡盤結(jié)構(gòu)上的微小顆粒對(duì)晶圓的正面造成污染，從而大幅提高清洗效率及良率。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體清洗設(shè)備及其承載裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備的承載裝置，其特征在于，包括：卡盤結(jié)構(gòu)、密封轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)、擰緊結(jié)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)； 所述卡盤結(jié)構(gòu)的頂面用于承載晶圓； 所述密封轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)包括密封罩及轉(zhuǎn)接組件，所述密封罩蓋合于所述卡盤結(jié)構(gòu)的底面，用于在所述卡盤結(jié)構(gòu)的底部形成有密封的安裝空間，并且所述卡盤結(jié)構(gòu)能相對(duì)于所述密封罩旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述密封罩的底部固定連接；所述轉(zhuǎn)接組件位于所述安裝空間內(nèi)，并且分別與所述卡盤結(jié)構(gòu)及所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)接組件帶動(dòng)所述卡盤結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)； 所述擰緊結(jié)構(gòu)穿設(shè)于所述密封罩，并且能伸入所述安裝空間內(nèi)，通過在所述密封罩底部操作所述擰緊結(jié)構(gòu)，使位于所述安裝空間內(nèi)的擰緊結(jié)構(gòu)動(dòng)作，以用于將所述轉(zhuǎn)接組件與所述卡盤結(jié)構(gòu)連接。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。