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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利頂針裝置及其校準(zhǔn)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114334782B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111659054.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)頂針裝置及其校準(zhǔn)方法是由常蕊;王家祥設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本頂針裝置及其校準(zhǔn)方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種頂針裝置及其校準(zhǔn)方法，上述頂針裝置包括至少三個(gè)頂針組件、檢測(cè)單元、控制單元和多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元。其中，多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元用于一一對(duì)應(yīng)地驅(qū)動(dòng)各個(gè)頂針組件升降；檢測(cè)單元用于檢測(cè)每個(gè)頂針組件頂端的高度；控制單元用于在校準(zhǔn)過(guò)程中，控制驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)頂針組件由初始位置上升至取放片位置；根據(jù)檢測(cè)單元檢測(cè)到的每個(gè)頂針組件頂端的實(shí)際高度，計(jì)算每個(gè)頂針組件頂端的實(shí)際高度與預(yù)設(shè)高度的差值，并判斷所有的頂針組件對(duì)應(yīng)的差值中是否有差值不為零；若是，則根據(jù)不為零的差值，控制與該差值對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)頂針組件升降，以使該頂針組件的頂端在位于取放片位置時(shí)的高度與預(yù)設(shè)高度的差值為零，從而使所有頂針組件均能夠達(dá)到預(yù)設(shè)高度。

本發(fā)明授權(quán)頂針裝置及其校準(zhǔn)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的頂針裝置，其特征在于，包括至少三個(gè)頂針組件、檢測(cè)單元、控制單元和多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元；其中， 所述驅(qū)動(dòng)單元的數(shù)量與所述頂針組件數(shù)量相同，且各個(gè)所述驅(qū)動(dòng)單元用于一一對(duì)應(yīng)地驅(qū)動(dòng)各個(gè)所述頂針組件升降； 所述檢測(cè)單元用于檢測(cè)每個(gè)所述頂針組件頂端的高度； 所述控制單元用于在校準(zhǔn)過(guò)程中，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述頂針組件由初始位置上升至取放片位置；根據(jù)所述檢測(cè)單元檢測(cè)到的每個(gè)所述頂針組件頂端的實(shí)際高度，計(jì)算每個(gè)所述頂針組件頂端的所述實(shí)際高度與預(yù)設(shè)高度的差值，并判斷所有的所述頂針組件對(duì)應(yīng)的所述差值中是否有差值不為零；若是，則根據(jù)不為零的所述差值，控制與該差值對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述頂針組件升降，以使該頂針組件的頂端在位于所述取放片位置時(shí)的高度與所述預(yù)設(shè)高度的差值為零； 所述控制單元還用于：在所有的所述頂針組件對(duì)應(yīng)的所述差值中有差值不為零時(shí)，控制所有的所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所有的所述頂針組件下降至各自的所述初始位置； 根據(jù)不為零的所述差值，控制與該差值對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述頂針組件升降，以將該頂針組件從原來(lái)的初始位置調(diào)節(jié)至新的初始位置； 控制所有的所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所有的所述頂針組件，自各自當(dāng)前的所述初始位置以相同的速度上升至所述取放片位置。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。