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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種化學(xué)放大光刻膠及其制備與使用方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114114834B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202111486540.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/004；該發(fā)明授權(quán)一種化學(xué)放大光刻膠及其制備與使用方法是由傅志偉;潘新剛;吳信;余文卿設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種化學(xué)放大光刻膠及其制備與使用方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及一種化學(xué)放大光刻膠及其制備與使用方法，所述光刻膠包括如下質(zhì)量百分比的各組分：聚合物樹(shù)脂，光刻膠的5～10％；光酸，聚合物樹(shù)脂的4～10％；猝滅劑，光酸的10～40％；UV吸收劑，聚合物樹(shù)脂的0.5～5％；流平劑，光刻膠的0.1～0.5％；溶劑，補(bǔ)足百分百；所述聚合物樹(shù)脂包括第一聚合物樹(shù)脂和或第二聚合物樹(shù)脂；所述光酸選自離子型光酸或非離子型光酸中的至少一種。制備方法包括以下步驟：按化學(xué)放大光刻膠的各組分混合。使用方法包括以下步驟：將化學(xué)放大光刻膠涂布在硅片上，依次經(jīng)過(guò)前烘、曝光、后烘和顯影。本發(fā)明光刻膠能有效降低駐波效應(yīng)，增加光刻膠圖形側(cè)壁的垂直性，提高光刻膠成像的分辨率。

本發(fā)明授權(quán)一種化學(xué)放大光刻膠及其制備與使用方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種化學(xué)放大光刻膠，其特征在于，所述光刻膠包括如下質(zhì)量百分比的各組分： 所述聚合物樹(shù)脂包括第一聚合物樹(shù)脂和第二聚合物樹(shù)脂，所述光酸選自離子型光酸和非離子型光酸；或所述聚合物樹(shù)脂包括第一聚合物樹(shù)脂和第二聚合物樹(shù)脂，所述光酸選自離子型光酸或非離子型光酸；或所述聚合物樹(shù)脂包括第一聚合物樹(shù)脂或第二聚合物樹(shù)脂，所述光酸選自離子型光酸和非離子型光酸； 所述第一聚合物樹(shù)脂為羥基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和丙烯酸叔丁酯化合物的共聚物；所述第二聚合物樹(shù)脂為羥基苯乙烯化合物和縮醛保護(hù)的羥基苯乙烯化合物的共聚物。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人江蘇漢拓光學(xué)材料有限公司，其通訊地址為：221132 江蘇省徐州市徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)軟件園E1綜合樓12A13；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話(huà)0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。