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龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利基板處理裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114695175B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111084342.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板處理裝置及方法是由郭基榮;李炫浩設計研發完成，并于2021-09-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板處理裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明提供能夠通過對基板的表面和背面高效地進行清洗處理來提高生產率的基板處理裝置及方法。所述基板處理裝置包括：處理模塊，包括支承基板的基板支承部、翻轉所述基板的翻轉部、以及用于處理所述基板的處理部；以及傳送模塊，向所述處理模塊傳送基板，其中，所述傳送模塊將第一面朝上的基板引入到所述處理模塊中并安置在所述翻轉部上，所述翻轉部翻轉所述基板以使第二面朝上，并將經翻轉的基板提供給所述基板支承部，所述處理部對安置在所述基板支承部上的基板的第二面進行第一處理，所述翻轉部翻轉經所述第一處理的基板以使第一面朝上，所述傳送模塊將所述第一面朝上的基板從所述處理模塊取出，并將所述第一面朝上的基板再次引入到所述處理模塊中并安置在所述基板支承部上，以及所述處理部對安置在所述基板支承部上的基板的第一面進行第二處理。

本發明授權基板處理裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置：包括 處理模塊，包括支承基板的基板支承部、翻轉所述基板的翻轉部、以及用于處理所述基板的處理部，所述翻轉部設置在所述處理模塊的腔室中；以及 傳送模塊，向所述處理模塊傳送所述基板， 其中，所述傳送模塊將第一面朝上的所述基板引入到所述處理模塊中并安置在所述翻轉部上， 所述翻轉部翻轉所述基板以使所述基板的第二面朝上，并將經翻轉的所述基板安置在所述基板支承部上， 所述處理部對安置在所述基板支承部上的所述基板的所述第二面進行第一處理， 所述翻轉部從所述基板支承部取走經所述第一處理的所述基板，并且翻轉經所述第一處理的所述基板以使所述第一面朝上， 所述傳送模塊將所述第一面朝上的所述基板從所述處理模塊取出，并將所述第一面朝上的所述基板再次引入到所述處理模塊中并安置在所述基板支承部上，以及 所述處理部對安置在所述基板支承部上的所述基板的所述第一面進行第二處理。

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