ASML荷蘭有限公司T·J·哈頓獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利收集器流動環獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114846410B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080089564.0，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權收集器流動環是由T·J·哈頓;馬悅;M·G·蘭格洛斯;J·伯克;E·J·S·約翰遜設計研發完成，并于2020-12-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本收集器流動環在說明書摘要公布了：提供了用于收集器流動環CFR殼體的系統、設備和方法，收集器流動環CFR殼體被配置為減輕燃料碎屑在極紫外EUV輻射系統中的積聚。示例CFR殼體可以包括多個噴頭流動通道出口，該多個噴頭流動通道出口被配置為在CFR殼體的等離子體面向的表面的多個部分之上輸出多個第一氣態流體流動。示例CFR殼體還可以包括檐槽清洗流動通道出口，該檐槽清洗流動通道出口被配置為在CFR殼體的燃料碎屑接收表面之上輸出第二氣態流體流動。示例CFR殼體還可包括被配置為支持護罩組裝件的護罩安裝結構、被配置為輸送流體的冷卻流動通道、以及被配置為接納多個光學量測管的多個光學量測端口。
本發明授權收集器流動環在權利要求書中公布了：1.一種收集器流動環殼體，所述收集器流動環殼體被配置為減輕燃料碎屑在極紫外EUV輻射系統中的積聚，所述收集器流動環殼體包括： 多個噴頭流動通道出口，被配置為：在所述收集器流動環殼體的等離子體面向的表面的多個部分之上輸出多個第一氣態流體流動； 檐槽清洗流動通道出口，被配置為：在所述收集器流動環殼體的燃料碎屑接收表面之上輸出第二氣態流體流動； 護罩安裝結構，被配置為支持護罩組裝件； 冷卻流動通道，被配置為輸送流體，所述流體被配置為在所述EUV輻射系統的EUV輻射生成操作期間從所述收集器流動環殼體的至少一部分移除熱量；以及 多個光學量測端口，被配置為接納多個光學量測管。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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