株式會社電裝河野高博獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社電裝申請的專利半導體裝置及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110730905B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201880038599.4,技術領域涉及:G01L9/00;該發明授權半導體裝置及其制造方法是由河野高博;與倉久則;藤原剛設計研發完成,并于2018-05-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體裝置及其制造方法在說明書摘要公布了:半導體裝置具備第1基板11、第2基板12、氧化膜13和保護膜14。第1基板具有第1面11c。第2基板具有一部分通過大氣壓等離子體活性而與第1面的一部分相接合的第2面12b。氧化膜形成于第1面。保護膜層疊在氧化膜的與第1基板相反側的表面上。半導體裝置的制造方法具備如下工序:在形成了保護膜后,在大氣中對第1面實施等離子體活性處理。
本發明授權半導體裝置及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體裝置,其特征在于, 具備: 第1基板11,具有第1面11c; 第2基板12,具有一部分通過大氣壓等離子體活性而與上述第1面的一部分相接合的第2面12b; 氧化膜13,形成于上述第1面;以及 保護膜14,層疊在上述氧化膜的與上述第1基板相反側的表面上; 上述氧化膜和上述保護膜的總膜厚是成為超過上述第1基板的帶電量的絕緣耐壓的膜厚。
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