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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)申請的專利一種方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114664722B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210284294.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)是由王家林;羅楊;崔潔;牛巖;祁雪飛;菅彥彬設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-03-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了：本申請?zhí)峁┝艘环N方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)，該方法包括：獲取待對準(zhǔn)方形晶圓對應(yīng)的目標(biāo)圖像；基于目標(biāo)圖像，確定待對準(zhǔn)方形晶圓的四個頂點的頂點位置以及四條邊的角度信息；基于四條邊的角度信息，確定第一旋轉(zhuǎn)角度；控制旋轉(zhuǎn)平臺按照第一旋轉(zhuǎn)角度進行旋轉(zhuǎn)；基于第一旋轉(zhuǎn)角度以及四個頂點的頂點位置，確定待對準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點位置，以及旋轉(zhuǎn)后的中心點位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離；基于偏移距離控制移動平臺移動，以使待對準(zhǔn)方形晶圓移動至測量坐標(biāo)系中的目標(biāo)位置完成位置對準(zhǔn)。通過采用上述方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)，解決了無法對方形晶圓進行預(yù)對準(zhǔn)的問題。

本發(fā)明授權(quán)一種方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種方形晶圓預(yù)對準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法包括： 接收待對準(zhǔn)方形晶圓已放入目標(biāo)晶圓槽位的反饋信號，獲取所述待對準(zhǔn)方形晶圓對應(yīng)的目標(biāo)圖像； 基于所述目標(biāo)圖像，確定所述待對準(zhǔn)方形晶圓的四個頂點的頂點位置以及四條邊的角度信息，基于四條邊的角度信息，確定第一旋轉(zhuǎn)角度； 控制旋轉(zhuǎn)平臺按照所述第一旋轉(zhuǎn)角度進行旋轉(zhuǎn)，以使所述待對準(zhǔn)方形晶圓在測量坐標(biāo)系中與橫坐標(biāo)軸成目標(biāo)角度進行擺放； 基于所述第一旋轉(zhuǎn)角度以及四個頂點的頂點位置，確定待對準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點位置，以及旋轉(zhuǎn)后的中心點位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離； 基于所述偏移距離控制移動平臺移動，以使所述待對準(zhǔn)方形晶圓移動至測量坐標(biāo)系中的目標(biāo)位置完成位置對準(zhǔn)； 所述基于所述目標(biāo)圖像，確定所述待對準(zhǔn)方形晶圓的四個頂點的頂點位置以及四條邊的角度信息，包括： 獲取目標(biāo)圖像中每個像素點的灰度值，針對每個像素點，確定與該像素點相鄰的多個相鄰像素點分別與該像素點的灰度值的差值； 將相鄰兩個像素點的差值，確定為相鄰兩個像素點的梯度； 將多個大于梯度閾值的對應(yīng)的像素點，確定為所述待對準(zhǔn)方形晶圓的多個邊緣像素點； 基于所述待對準(zhǔn)方形晶圓的多個邊緣像素點，確定所述待對準(zhǔn)方形晶圓的位置信息，所述位置信息包括四個頂點的頂點位置以及四條邊的位置； 基于所述四條邊的位置，確定四條邊的角度信息。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)，其通訊地址為：100176 北京市北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。