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龍圖騰網(wǎng)獲悉KELK株式會社申請的專利處理液調(diào)溫裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114993097B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210168936.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F28F21/04；該發(fā)明授權(quán)處理液調(diào)溫裝置是由五藤大輔;小林敦設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-02-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本處理液調(diào)溫裝置在說明書摘要公布了：處理液調(diào)溫裝置具備：塊體，其呈由碳化硅燒結(jié)體構(gòu)成的一體結(jié)構(gòu)，并具有供半導(dǎo)體處理液在內(nèi)部流通的流路；以及溫度調(diào)整部，其設(shè)置于塊體，進(jìn)行在流路中流通的半導(dǎo)體處理液的溫度調(diào)整。由此，能夠削減部件數(shù)量，實現(xiàn)小型化及成本降低。另外，能夠提高處理液與溫度調(diào)整部之間的熱傳導(dǎo)，能夠提高熱交換效率。

本發(fā)明授權(quán)處理液調(diào)溫裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種處理液調(diào)溫裝置，具備： 塊體，其呈由碳化硅燒結(jié)體構(gòu)成的一體結(jié)構(gòu)，并具有在內(nèi)部形成的供半導(dǎo)體處理液流通的流路、以及將該流路與外部隔開的隔壁；以及 溫度調(diào)整部，其設(shè)置于所述塊體的外表面，經(jīng)由所述隔壁而與所述半導(dǎo)體處理液進(jìn)行熱交換， 所述塊體具有在厚度方向上相互分離地配置的作為所述外表面的第一主面及第二主面， 所述塊體具備： 第一碳化硅材料，其具有所述第一主面，并在與該第一主面相反一側(cè)的面形成有形成所述流路的一部分的第一流路槽； 第二碳化硅材料，其具有所述第二主面，并在與該第二主面相反一側(cè)的面形成有形成所述流路的一部分的第二流路槽；以及 第三碳化硅材料，其設(shè)置于所述第一碳化硅材料與所述第二碳化硅材料之間，與所述第一流路槽一起形成第一流路，并且與所述第二流路槽一起形成第二流路，并具有使這些第一流路及第二流路相互連通的連通部， 所述塊體為由所述第一碳化硅材料、所述第二碳化硅材料及所述第三碳化硅材料形成的一體結(jié)構(gòu)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人KELK株式會社，其通訊地址為：日本國神奈川縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。