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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利飛秒激光加工系統(tǒng)和三維表面形貌在線測(cè)量方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116851911B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202310976585.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B23K26/0622；該發(fā)明授權(quán)飛秒激光加工系統(tǒng)和三維表面形貌在線測(cè)量方法是由陳沖;張帆;熊昕;吳重光;陳遠(yuǎn)流設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-02-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本飛秒激光加工系統(tǒng)和三維表面形貌在線測(cè)量方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及飛秒激光技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種三維表面形貌在線測(cè)量方法，包括：獲得非加工狀態(tài)下的加工點(diǎn)的光電流信號(hào)I0；在加工過(guò)程中，接收待加工元件反射回來(lái)的飛秒激光束，并分成兩束激光光束，分別傳遞給第一光電探測(cè)器和第二光電探測(cè)器；對(duì)光電流強(qiáng)度實(shí)時(shí)解碼并依據(jù)提前標(biāo)定的光電流強(qiáng)度解碼IAM和軸向深度Z之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，獲得該加工點(diǎn)表面的軸向深度Z；繪制出加工元件的加工區(qū)域的三維形貌。

本發(fā)明授權(quán)飛秒激光加工系統(tǒng)和三維表面形貌在線測(cè)量方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.飛秒激光加工的三維表面形貌測(cè)量方法，其特征在于，適用于硅晶圓材料；包括以下步驟： 1非加工狀態(tài)下，定位飛秒激光束到待加工元件的加工點(diǎn)； 2進(jìn)入加工狀態(tài)，飛秒激光束聚焦在加工元件的指定位置上進(jìn)行燒蝕加工； 3加工過(guò)程中，接收待加工元件反射回來(lái)的飛秒激光束，并分成兩束激光光束，分別傳遞給第一光電探測(cè)器和第二光電探測(cè)器； 第一光電探測(cè)器將探測(cè)到的光信號(hào)記錄為光電流信號(hào)I1； 第二光電探測(cè)器將探測(cè)到的光信號(hào)記錄為光電流信號(hào)I2； 對(duì)光電流強(qiáng)度實(shí)時(shí)解碼IAM＝I1-I2I1+I2； 4依據(jù)提前標(biāo)定的光電流強(qiáng)度解碼IAM和軸向深度Z之間的對(duì)應(yīng)系數(shù)a和對(duì)應(yīng)系數(shù)b，獲得該加工點(diǎn)表面的軸向深度Z＝IAM*a+b； 光電流強(qiáng)度解碼IAM和加工元件表面的軸向深度Z呈線性關(guān)系； 5加工元件在XY方向位移實(shí)現(xiàn)XY平面的逐點(diǎn)掃描，得到XY平面各點(diǎn)的軸向深度Z； 6實(shí)時(shí)匯總所述加工元件的坐標(biāo)信息和軸向深度Z，繪制出加工元件表面的三維形貌。

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