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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請(qǐng)的專利根據(jù)基于機(jī)器學(xué)習(xí)的基板圖像處理進(jìn)行膜厚度估計(jì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115104001B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180014115.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/06；該發(fā)明授權(quán)根據(jù)基于機(jī)器學(xué)習(xí)的基板圖像處理進(jìn)行膜厚度估計(jì)是由S·德漢達(dá)帕尼;A·阿拉赫霍利普羅姆拉尼;D·J·本韋格努;錢雋;K·L·什里斯塔設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本根據(jù)基于機(jī)器學(xué)習(xí)的基板圖像處理進(jìn)行膜厚度估計(jì)在說明書摘要公布了：通過在多個(gè)位置獲得校準(zhǔn)基板的頂層的地表實(shí)況厚度測(cè)量結(jié)果來訓(xùn)練神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)以用于基板厚度測(cè)量系統(tǒng)，每一位置為在基板上制造的管芯的定義位置。獲取校準(zhǔn)基板的多個(gè)彩色圖像，每一彩色圖像對(duì)應(yīng)于在基板上制造的管芯的區(qū)域。訓(xùn)練神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)以將來自直列式基板成像器的管芯區(qū)域的彩色圖像轉(zhuǎn)化為管芯區(qū)域中頂層的厚度測(cè)量結(jié)果。使用訓(xùn)練數(shù)據(jù)執(zhí)行訓(xùn)練，訓(xùn)練數(shù)據(jù)包括多個(gè)彩色圖像及地表實(shí)況厚度測(cè)量結(jié)果，每一相應(yīng)的彩色圖像與和該相應(yīng)彩色圖像相關(guān)聯(lián)的管芯區(qū)域的地表實(shí)況厚度測(cè)量結(jié)果配對(duì)。

本發(fā)明授權(quán)根據(jù)基于機(jī)器學(xué)習(xí)的基板圖像處理進(jìn)行膜厚度估計(jì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種非瞬態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其編碼有計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，所述計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品包括指令以使一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行以下步驟： 在多個(gè)位置獲得校準(zhǔn)基板的頂層的地表實(shí)況厚度測(cè)量結(jié)果，每一位置為在所述校準(zhǔn)基板上制造的管芯的定義位置； 獲取所述校準(zhǔn)基板的多個(gè)彩色圖像，每一彩色圖像對(duì)應(yīng)于在所述校準(zhǔn)基板上制造的管芯的區(qū)域；及 訓(xùn)練神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，將來自直列式基板成像器的管芯區(qū)域的彩色圖像轉(zhuǎn)換為所述管芯區(qū)域中的所述頂層的厚度測(cè)量結(jié)果，其中訓(xùn)練所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的所述指令包括使用訓(xùn)練數(shù)據(jù)的指令，所述訓(xùn)練數(shù)據(jù)包括所述多個(gè)彩色圖像及地表實(shí)況厚度測(cè)量結(jié)果，每一相應(yīng)彩色圖像與和所述相應(yīng)彩色圖像相關(guān)聯(lián)的所述管芯區(qū)域的地表實(shí)況厚度測(cè)量結(jié)果配對(duì)。

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