ASM IP私人控股有限公司S.甘古力獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASM IP私人控股有限公司申請的專利用于反應器系統的激光器對準夾具獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113667953B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110520955.X，技術領域涉及：C23C14/50；該發明授權用于反應器系統的激光器對準夾具是由S.甘古力;T.R.鄧恩;A.金蒂設計研發完成，并于2021-05-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于反應器系統的激光器對準夾具在說明書摘要公布了：一種用于反應器系統的激光器對準夾具，可以用于對準反應器系統的部件以允許將薄膜均勻沉積到襯底上。激光器對準夾具可以包括：蓋組件；以及多個激光器和傳感器組件。激光器對準夾具可以對準至少：流動控制環、基座，以及反應器系統的側壁。
本發明授權用于反應器系統的激光器對準夾具在權利要求書中公布了：1.一種用于反應器系統的激光器對準夾具，所述反應器系統用于在襯底上沉積薄膜，包括： 蓋組件，配置為置于所述反應器系統上，所述蓋組件包括觀察窗； 多個激光器和傳感器組件，設置在所述蓋組件上； 其中所述反應器系統包括： 基座，其中所述基座配置為在其上接收襯底； 基座定位系統，配置為沿著x-y平面移動所述基座； 流動控制環，設置在所述基座的外邊緣上；以及 間隔體板，接觸所述流動控制環且設置在所述流動控制環的外邊緣上； 其中所述多個激光器和傳感器組件照射并感測用于確定所述基座、所述流動控制環和所述間隔體板的對準的光；并且 其中通過使用所述基座定位系統將所述光用于調整所述基座的位置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASM IP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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