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龍圖騰網(wǎng)獲悉科利百利股份有限公司申請(qǐng)的專利用于半導(dǎo)體工藝的氣體/固體分離的液體過濾裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114207839B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080056104.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B01D47/02；該發(fā)明授權(quán)用于半導(dǎo)體工藝的氣體/固體分離的液體過濾裝置是由I·馬哈威利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-06-05向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于半導(dǎo)體工藝的氣體/固體分離的液體過濾裝置在說明書摘要公布了：一種用于氣體固體分離的液體過濾裝置，包括具有過濾室、半導(dǎo)體工藝氣體入口、和工藝氣體出口的外殼。過濾室形成液體儲(chǔ)存器，半導(dǎo)體工藝氣體入口及工藝氣體出口與過濾腔室相連通。該外殼還包括過濾液入口和過濾液出口，其均與液體儲(chǔ)存器相連通，以分別用于將過濾流體輸送到液體儲(chǔ)存器和從液體儲(chǔ)存器排出過濾流體。

本發(fā)明授權(quán)用于半導(dǎo)體工藝的氣體/固體分離的液體過濾裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于氣體固體分離的液體過濾裝置，所述過濾裝置包括： 外殼，具有過濾室、半導(dǎo)體工藝氣體入口、工藝氣體出口，所述過濾室形成液體儲(chǔ)存器，并且所述半導(dǎo)體工藝氣體入口和所述工藝氣體出口與所述過濾室連通，所述外殼112包括實(shí)心板136，所述實(shí)心板136劃分了過濾室118和排氣室138之間的外殼112的內(nèi)部空間； 與所述液體儲(chǔ)存器連通的過濾液入口和過濾液出口，分別用于將過濾液體輸送到所述液體儲(chǔ)存器和從所述液體儲(chǔ)存器移除過濾液體； 進(jìn)料管，所述進(jìn)料管與所述工藝氣體入口連通并延伸到所述液體儲(chǔ)存器中以將流經(jīng)所述工藝氣體入口的工藝氣體直接注入液體儲(chǔ)存器中的過濾液體中；以及 與所述過濾室和所述排氣室流體連通的內(nèi)部導(dǎo)管134，以將過濾后的工藝氣體流從所述過濾室引導(dǎo)到所述排氣室，所述內(nèi)部導(dǎo)管134包括位于過濾液體的高度上方的第一開口端134a和延伸穿過實(shí)心板136以便排放到排氣室138內(nèi)的第二開口端134b。

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