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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司申請的專利一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗回收設(shè)備及其回收方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120421274B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510926917.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B3/14；該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗回收設(shè)備及其回收方法是由陳焱;趙天翔設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗回收設(shè)備及其回收方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及晶圓清洗回收技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗回收設(shè)備，包括：收集槽、濾網(wǎng)、廢料槽以及清潔組件，收集槽底部安裝有排料管，且排料管與收集槽內(nèi)底部最低處連通；濾網(wǎng)固定安裝在收集槽內(nèi)，且濾網(wǎng)遮住收集槽底部，同時濾網(wǎng)可對從其表面穿過的清洗劑進(jìn)行過濾；廢料槽呈圓環(huán)形，且可拆卸的安裝在收集槽內(nèi)壁上，同時濾網(wǎng)表面與廢料槽的上開口連通，廢料槽的內(nèi)底面開設(shè)有貫穿的濾孔；清潔組件可對濾網(wǎng)表面進(jìn)行刮掃清潔，且刮潔時會將刮潔下來的廢料輸送至廢料槽內(nèi)，同時刮潔時還會同步從濾網(wǎng)下方對濾網(wǎng)上方吹氣；本申請，可有效保證對前端半導(dǎo)體清洗設(shè)備流出的清洗進(jìn)行回收，避免清洗劑內(nèi)的雜質(zhì)堵塞濾網(wǎng)導(dǎo)致回收不暢的情況發(fā)生。

本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗回收設(shè)備及其回收方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗回收設(shè)備，其特征在于，包括： 收集槽（100），其底部安裝有排料管（110），且排料管（110）與收集槽（100）內(nèi)底部最低處連通； 濾網(wǎng)（200），其固定安裝在收集槽（100）內(nèi)，且濾網(wǎng)（200）遮住收集槽（100）底部，同時濾網(wǎng)（200）可對從其表面穿過的清洗劑進(jìn)行過濾； 廢料槽（300），其呈圓環(huán)形，且可拆卸的安裝在收集槽（100）內(nèi)壁上，濾網(wǎng)（200）表面與廢料槽（300）的上開口連通，廢料槽（300）的內(nèi)底面開設(shè)有貫穿的濾孔； 清潔組件，其包括刮潔組件（400）、排料組件（500）以及反吹組件（600），刮潔組件（400）可對濾網(wǎng)（200）表面進(jìn)行刮掃清潔，且刮潔組件（400）運(yùn)轉(zhuǎn)時會驅(qū)使排料組件（500）運(yùn)轉(zhuǎn)，排料組件（500）運(yùn)轉(zhuǎn)可將刮潔組件（400）上刮下的廢料輸送至廢料槽（300）內(nèi)，刮潔組件（400）運(yùn)轉(zhuǎn)同步帶動反吹組件（600）運(yùn)轉(zhuǎn)，反吹組件（600）運(yùn)轉(zhuǎn)從濾網(wǎng)（200）下方對濾網(wǎng)（200）上方吹氣； 所述刮潔組件（400）包括刮條（410）以及驅(qū)動組件（420），刮條（410）轉(zhuǎn)動設(shè)置在濾網(wǎng)（200）上，且刮條（410）與濾網(wǎng)（200）表面接觸，同時刮條（410）轉(zhuǎn)動可刮走濾網(wǎng)（200）表面的截留的雜物，驅(qū)動組件（420）與刮條（410）連接，且通過驅(qū)動組件（420）驅(qū)使刮條（410）轉(zhuǎn)動； 所述驅(qū)動組件（420）包括電機(jī)（421）以及連接座（422），電機(jī)（421）固定安裝在收集槽（100）側(cè)面，連接座（422）轉(zhuǎn)動安裝在濾網(wǎng)（200）中間，刮條（410）與連接座（422）表面固定連接，且電機(jī)（421）輸出端與連接座（422）轉(zhuǎn)軸通過兩個傳動錐齒輪（423）的嚙合實(shí)現(xiàn)傳動，收集槽（100）的內(nèi)部固定安裝有保護(hù)箱（424），其處于濾網(wǎng)（200）下方，且兩個傳動錐齒輪（423）均安裝在保護(hù)箱（424）內(nèi)； 所述排料組件（500）包括絞龍（510）、安裝架（520）以及傳動組件（530），安裝架（520）固定安裝在刮條（410）上且可隨刮條（410）同步移動，絞龍（510）轉(zhuǎn)動安裝在安裝架（520）上，且刮條（410）轉(zhuǎn)動時從濾網(wǎng)（200）上刮下的雜物會聚攏在安裝架（520）中間，安裝架（520）靠近廢料槽（300）的端部設(shè)有出料口（540），且絞龍（510）轉(zhuǎn)動會帶動安裝架（520）中的雜物從出料口（540）排出并使其流至廢料槽（300），傳動組件（530）安裝在絞龍（510）轉(zhuǎn)軸與連接座（422）之間，且連接座（422）轉(zhuǎn)動時，會通過傳動組件（530）帶動絞龍（510）轉(zhuǎn)動； 所述傳動組件（530）包括固定錐齒輪（531）和轉(zhuǎn)動錐齒輪（532），連接座（422）內(nèi)部設(shè)有空腔，所述固定錐齒輪（531）和轉(zhuǎn)動錐齒輪（532）均安裝在空腔內(nèi)，固定錐齒輪（531）的轉(zhuǎn)軸延伸至收集槽（100）底部并與收集槽（100）固定連接，轉(zhuǎn)動錐齒輪（532）與連接座（422）連接并隨連接座（422）同步移動，且轉(zhuǎn)動錐齒輪（532）還可繞自身轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)，所述固定錐齒輪（531）和轉(zhuǎn)動錐齒輪（532）相互嚙合，同時絞龍（510）的轉(zhuǎn)軸延伸至空腔內(nèi)，并與轉(zhuǎn)動錐齒輪（532）轉(zhuǎn)軸同軸連接； 所述反吹組件（600）包括吹氣管（610）以及供氣組件（620），吹氣管（610）與連接座（422）固定連接，且處于濾網(wǎng)（200）下方，吹氣管（610）的表面開設(shè)有若干出氣孔，且出氣孔朝向濾網(wǎng)（200），供氣組件（620）連接在吹氣管（610）與外部壓縮空氣之間，且吹氣管（610）隨連接座（422）轉(zhuǎn)動時，外部壓縮空氣可通過供氣組件（620）往吹氣管（610）供氣。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司，其通訊地址為：215312 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)中華路889號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。