買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請(qǐng)的專利晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120453202B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510918310.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置是由孫豐;田斌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-03向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)公開一種晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置，包括：放置機(jī)構(gòu)；取片機(jī)構(gòu)，包括吸取組件、第一驅(qū)動(dòng)件、第一吹氣口、第二吹氣口和移動(dòng)組件，吸取組件的吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于豎直方向的放置位置；第一驅(qū)動(dòng)件與吸取組件相連；第一吹氣口的形狀為圓形，第二吹氣口的形狀為扁長形；移動(dòng)組件與吸取組件相連；沿第一方向延伸且移動(dòng)方向相同、移動(dòng)速度相等的第一傳送部和第二傳送部，第一傳送部和第二傳送部之間具有預(yù)定長度的間隙；吸取組件位于第一傳送部的上方；分別固定設(shè)置在間隙上方和下方的兩個(gè)相機(jī)；分別設(shè)置在間隙上方和下方的第一光源和第二光源。該晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置能實(shí)現(xiàn)無遮擋的檢測(cè)，并且能實(shí)現(xiàn)快速取片。

本發(fā)明授權(quán)晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓分片移動(dòng)在線檢測(cè)裝置，其特征在于，包括： 用于放置晶圓的放置機(jī)構(gòu)，所述放置機(jī)構(gòu)內(nèi)的晶圓表面垂直于第一方向； 用于吸取晶圓的取片機(jī)構(gòu)，包括吸取組件、第一驅(qū)動(dòng)件、第一吹氣口、第二吹氣口和移動(dòng)組件，所述吸取組件具有平行于晶圓表面的吸取平面，所述吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于豎直方向的放置位置；所述第一驅(qū)動(dòng)件與所述吸取組件相連，用于驅(qū)動(dòng)所述吸取組件繞第二方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，使所述吸取平面在所述吸取位置和放置位置之間切換；所述第一方向、第二方向和豎直方向兩兩相互垂直；所述第一吹氣口和第二吹氣口在第二方向上分別連接于所述吸取組件的兩側(cè)；所述第一吹氣口的形狀為圓形，所述第二吹氣口的形狀為扁長形；所述移動(dòng)組件與所述吸取組件相連，用于驅(qū)動(dòng)所述吸取組件在所述第一方向和豎直方向上移動(dòng)； 沿第一方向延伸且移動(dòng)方向相同、移動(dòng)速度相等的第一傳送部和第二傳送部，所述第一傳送部和第二傳送部之間具有預(yù)定長度的間隙；所述預(yù)定長度小于所述晶圓的半徑；所述第一傳送部位于所述放置機(jī)構(gòu)和第二傳送部之間；所述吸取組件位于所述第一傳送部的上方； 分別固定設(shè)置在所述間隙上方和下方的兩個(gè)相機(jī)； 分別設(shè)置在所述間隙上方和下方的第一光源和第二光源。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州賽騰精密電子股份有限公司，其通訊地址為：215124 江蘇省蘇州市吳中區(qū)郭巷街道淞葭路585號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。