上海至純潔凈系統科技股份有限公司;合肥至匯半導體應用技術有限公司鄧信甫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海至純潔凈系統科技股份有限公司;合肥至匯半導體應用技術有限公司申請的專利一種自擺蕩晶圓清洗干燥裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114496847B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111675344.9，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種自擺蕩晶圓清洗干燥裝置是由鄧信甫;陳新來;唐寶國;劉大威;丁立設計研發完成，并于2021-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種自擺蕩晶圓清洗干燥裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種自擺蕩晶圓清洗干燥裝置，包括清洗槽以及設置于所述清洗槽內部的擺動機構，所述擺動機構上設置有至少兩個晶圓盒承載區，所述晶圓盒承載區用于放置晶圓盒；所述擺動機構包括驅動電機、滑動軌道、滑動塊、軸接軌道及擺動臂，所述滑動軌道與所述軸接軌道平行設置，所述滑動軌道位于所述軸接軌道的上方，所述滑動塊滑動安裝于所述滑動軌道上，所述驅動電機用于控制所述滑動塊在所述滑動軌道上進行往復運動。本發明通過擺動機構形成弧形運動路徑，使得晶圓在擺蕩的過程中，形成特殊的震動、擺動，有效擺幅運動使得清洗設備的設置更加靈活，提高了一般濕法工藝構建的普適性及可行性。
本發明授權一種自擺蕩晶圓清洗干燥裝置在權利要求書中公布了：1.一種自擺蕩晶圓清洗干燥裝置，其特征在于，包括清洗槽以及設置于所述清洗槽內部的擺動機構，所述擺動機構上設置有至少兩個晶圓盒承載區，所述晶圓盒承載區用于放置晶圓盒； 所述擺動機構包括驅動電機、滑動軌道、滑動塊、軸接軌道及擺動臂，所述滑動軌道與所述軸接軌道平行設置，所述滑動軌道位于所述軸接軌道的上方，所述滑動塊滑動安裝于所述滑動軌道上，所述驅動電機用于控制所述滑動塊在所述滑動軌道上進行往復運動， 所述擺動臂至少設置為兩個，所述擺動臂包括平行設置的第一支臂與第二支臂，所述第二支臂的長度大于所述第一支臂的長度，所述第一支臂的上部沿長度方向設置有滑動槽，所述滑動塊上對應安裝有滑動輪，所述滑動輪安裝于所述滑動槽內，所述第一支臂的下端與所述軸接軌道上的連接點軸安裝，所述晶圓盒承載區設置于所述第二支臂的下端；所述擺動臂的擺動角度范圍為15-30度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海至純潔凈系統科技股份有限公司;合肥至匯半導體應用技術有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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