買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉上海至純潔凈系統科技股份有限公司;合肥至匯半導體應用技術有限公司申請的專利自適應可變間距晶圓掃描系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114496845B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111663766.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權自適應可變間距晶圓掃描系統及方法是由唐寶國;楊嘉斌設計研發完成，并于2021-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本自適應可變間距晶圓掃描系統及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種自適應可變間距晶圓掃描系統及方法，該系統包括底座、設置在底座上的晶圓掃描發射端、對應晶圓掃描發射端的晶圓掃描接收端，一個所述晶圓掃描發射端和一個晶圓掃描接收端為一組晶圓掃描模組；底座上活動設置若干組晶圓掃描模組；晶圓掃描模組之間的距離可調。掃描時，根據通過采集單元采集所要掃描的晶圓的尺寸信息，然后通過尺寸確認對應的晶圓掃描模組之間的距離，通過PLC控制單元控制電機旋轉，通過電機驅動調節晶圓掃描模組之間的距離，實現對對應規格的晶圓的掃描。本發明的自適應可變間距晶圓掃描系統及方法可實現傳感器之間位置的調整，滿足不同規格晶圓掃描的需求，在保證掃描效率的同時提升了晶圓掃描的兼容性。

本發明授權自適應可變間距晶圓掃描系統及方法在權利要求書中公布了：1.自適應可變間距晶圓掃描系統，其特征在于，包括底座、設置在底座上的晶圓掃描發射端、對應晶圓掃描發射端的晶圓掃描接收端，一個所述晶圓掃描發射端和一個晶圓掃描接收端為一組晶圓掃描模組；所述底座上活動設置若干組晶圓掃描模組；所述晶圓掃描模組之間的距離可調； 所述晶圓掃描發射端包括傳感器發射端支架、傳感器發射端，所述傳感器發射端安裝在傳感器發射端支架上；所述晶圓掃描接收端包括傳感器接收端支架、傳感器接收端，所述傳感器接收端安裝在傳感器接收端支架上，所述傳感器發射端和傳感器接收端一一對應；所述傳感器發射端支架和傳感器接收端支架分別活動安裝在底座的一側；所述底座為升降底座； 所述底座兩側分別設有用以傳感器發射端支架以及傳感器接收端支架安裝的絲桿，所述傳感器發射端支架和傳感器接收端支架分別套設在絲桿外部；所述絲桿的一端安裝有絲桿支撐座，所述絲桿的另外一端設有用以驅動絲桿轉動的動力裝置；所述傳感器發射端支架之間和傳感器接收端支架之間分別安裝有彈簧，所述彈簧套設在絲桿上；所述絲桿上還設有用以推動傳感器發射端支架和傳感器接收端支架相對絲桿移動的推塊，所述推塊與絲桿螺紋配合，所述推塊的側面還設有限制推塊自轉的限位裝置，所述推塊設置在靠近絲桿連接動力裝置的一端。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海至純潔凈系統科技股份有限公司;合肥至匯半導體應用技術有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。